[实用新型]一种用于激光剥蚀系统的报警装置有效
| 申请号： | 202021680349.1 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN212541559U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 刘朋;李照洋;任德馨;陈微言;胡勇刚 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司;上海凯来谱科技有限公司 |
| 主分类号： | G08B25/10 | 分类号： | G08B25/10;G01N27/626 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 于睿虬 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 剥蚀 系统 报警装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于激光剥蚀系统的报警装置，其特征在于，包括控制器、光电感应器、手机通讯模块和报警模块，所述光电感应器设置在电感耦合等离子体质谱仪的进样位置，所述控制器分别与光电感应器、手机通讯模块、报警模块、激光剥蚀仪、电感耦合等离子体质谱仪电性连接。
2.根据权利要求1所述的报警装置，其特征在于，所述控制器的输入端分别与光电感应器、电感耦合等离子体质谱仪电性连接，所述控制器的输出端分别与手机通讯模块、报警模块、激光剥蚀仪电性连接。
3.根据权利要求1所述的报警装置，其特征在于，所述报警模块包括蜂鸣器。
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