[实用新型]一种研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置有效

专利信息
申请号: 202021681486.7 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN213616032U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 戴鑫辉;李林;乔石;姚欢;吕勋恩 申请(专利权)人: 青岛高测科技股份有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 于晶晶
地址: 266114 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 研磨机 研磨 静压 回转 支撑 装置
【权利要求书】:

1.一种研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,包括用于设置下研磨盘的旋转工件、设置于旋转工件下方的静压转台、设置在静压转台下用于承接静压油的回流盘、及穿过静压转台及回流盘与旋转工件连接的转轴,所述静压转台包括上工作面与下固定面,所述静压油通过注入静压转台上工作面与下固定面之间,上工作面浮起,从而实现转轴带动旋转工件的平稳转动。

2.根据权利要求1所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,所述静压转台为恒压式静压转台。

3.根据权利要求1所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,所述静压转台上设置有进油口,所述进油口沿静压转台外沿设置。

4.根据权利要求2所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,所述静压转台上工作面浮起最大高度为0.01-0.04mm,所述下固定面上设置有出油口。

5.根据权利要求4所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,所述回流盘设置有用于承接出油口流出的静压油的环状的储油槽,所述储油槽底部设置有用于排出静压油的出油管。

6.根据权利要求5所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,还包括将静压油泵入静压转台的静压站,所述静压站设置有进油管和出油管,静压站通过进油管将静压油泵入到静压转台中,通过出油管将回流盘中的静压油收回到静压站中。

7.根据权利要求1所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,还包括用于连接旋转工件与转轴的托盘,所述托盘设置在静压转台上工作面上端面上。

8.根据权利要求7所述的研磨机下研磨盘用静压回转支撑装置,其特征在于,所述托盘下表面中间凸出两侧凹陷,托盘下表面边缘设置有凸起,所述静压转台上工作面上端面对应托盘下表面呈中间凹陷两侧凸出。

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