[实用新型]一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有内联加热器，所述内联加热器的两端均均匀安装有红外线加热管，所述箱体的内侧壁连通有第一管体，所述第一管体的一端贯穿所述箱体的外侧壁，所述第一管体的一端贯穿所述隔板的外侧壁且连通于所述内联加热器的进气口，在本装置的使用当中，通过压力调节阀和流量计的配合使用，可以使得氮气在加热的过程当中，流量的可控，可视，便于工作人员的调整。

技术领域

本实用新型涉及氮气加热技术领域，具体为一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。

背景技术

在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇IPA吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。

现有的氮气在加热的过程当中时长会出现压力过高的问题，而现有的氮气加热器在进行加热的过程当中并不能很好的对氮气加热时产生的压力进行控制，并且当氮气加热压力过大时也并不能及时的给予工作人员提示，一旦压力出现过高的现象，可能会造成很严重的损失，为此，提出一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有内联加热器，所述内联加热器的两端均均匀安装有红外线加热管，所述箱体的内侧壁连通有第一管体，所述第一管体的一端贯穿所述箱体的外侧壁，所述第一管体的一端贯穿所述隔板的外侧壁且连通于所述内联加热器的进气口，所述支撑板的上表面安装有压力调节阀，所述压力调节阀的进气口连通于所述箱体的内侧壁，所述压力调节阀的出气口连通有第三管体，所述支撑板的上表面固定连接有安全阀，所述安全阀的出气端连通有第二管体，所述第三管体远离所述压力调节阀的一端连通于所述安全阀的进气口，所述箱体的前表面通过螺丝螺纹连接有流量计，所述箱体的前表面安装有控制器，所述箱体的前表面安装有显示器，所述箱体的前表面固定连接有蜂鸣器，所述第一管体的外侧壁安装有单向阀。

优选的，所述支撑板的上表面对称固定连接有四个支撑杆，所述支撑杆的顶部固定连接有加热箱，所述第二管体远离所述安全阀的一端连通于所述加热箱的内侧壁。

优选的，所述加热箱的内侧壁设有放置架，所述放置架的上表面对称固定连接有两个吊环。

优选的，所述加热箱的上表面铰接有盖体，所述盖体的上表面固定连接有把手。

优选的，所述盖体和所述加热箱的一侧均固定连接有第二固定板，所述第二固定板的内侧壁螺纹连接有螺栓。

优选的，所述支撑板的下表面对称固定连接有四个第一连杆，所述第一连杆的底部固定连接有万向轮，所述第一连杆的外侧壁套设有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，具备以下有益效果：

一、在本装置的使用当中，通过压力调节阀和流量计的配合使用，可以使得氮气在加热的过程当中，流量的可控，可视，便于工作人员的调整；

二、同时压力传感器的设置，可以实现在压力过高时通过控制器启动蜂鸣器，并且通过搭配安全阀的使用可以实现超压警报，压力过高时通过安全阀进行泄压。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；