[实用新型]功率模块塑封结构有效
申请号: | 202021686256.X | 申请日: | 2020-08-13 |
公开(公告)号: | CN212342599U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 梁小广;丁烜明 | 申请(专利权)人: | 无锡利普思半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/16 | 分类号: | H01L23/16;H01L23/24;H01L23/00 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 李佳俊;郭国中 |
地址: | 214000 江苏省无锡市市辖区建筑*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 模块 塑封 结构 | ||
本实用新型提供了一种功率模块塑封结构,包括:金属底板、环氧树脂层以及支撑件;所述金属底板贴附连接在功率模块的底面,所述环氧树脂层包裹所述功率模块,共同将所述功率模块密封在内;所述支撑件设置于所述环氧树脂层内,一端支撑所述功率模块基板的顶面,另一端位于所述环氧树脂层的顶面。通过支撑件的使用,避免环氧树脂在Tg温度之上承受较大压力而引起模块的变形或者损坏。
技术领域
本实用新型涉及半导体器件领域,具体地,涉及一种功率模块塑封结构。
背景技术
在电源,电力电子变换器应用中,功率半导体(IGBT,MOSFET,SiC,GaN等)器件因为被广泛采用,在功率较大的场合下一般使用模块的封装形式。现在被广泛使用的封装形式如图1所示,功率模块主要由金属底板,焊接层,DBC(双面覆铜陶瓷基板),AMB(箔钎焊的覆铜陶瓷基板),绝缘散热树脂薄膜或者其他绝缘散热材料,绑定线,电气连接用端子,环氧树脂等组成。功率半导体晶片通过焊接固定到绝缘散热材料上后,通过铝绑定线进行电气连接。再通过回流焊或者烧结等工艺将DBC者其他绝缘散热材料焊接到金属底板上,功率半导体晶片的发出的热通过DBC或者其他绝缘散热材料,焊接层传导到金属底板上,金属底板再通过风冷或者水冷散热出去,端子用于连接外部的电气电路。
图2为压注模塑封(Transfer molding)封装工艺的例子,被加热成液体状的环氧树脂通过高压灌入压注模具中,与其他器件一起成型为压注模塑封功率模块。
图3为压缩模塑封(Compression molding)封装工艺的例子,第一步将功率模块的部件固定到压缩模具的上模具。第二步,在下模具的环氧树脂融合成液体。第三步将将下模具推向上模具,功率模块的部件全部侵入环氧树脂中,同时抽真空以去除环氧树脂中的气泡。第四步,环氧树脂硬化后完成封装。
功率模块由于产生大量的热,需要通过金属散热器、金属散热片(铜或者铝)散热,模块与金属散热器的连接用传统上使用硅脂(silicon grease)比较多,如图4所示。硅脂填补了金属散热器表面的细微的不平整部分,使得模块更加贴合到散热片上。但是硅脂材料的导热系数比较低(<10W),影响了系统的散热能力。
为了提高散热能力,烧结材料(如银烧结材料,铜烧结材料)的导热系数可以达到200W以上,可以作为硅脂的替代,大大提高模块的散热能力。但是烧结材料,需要在250℃以上的高温以及10MPa到30Mpa的压力下才能形成有效的烧结层。为了减少加工时间(温度越低就需要越长的时间来加工)往往选择280℃到300°C来进行加压。塑封模块使用的环氧树脂材料一般Tg(玻璃化转变温度)在200℃以下较多,近来也有Tg为250℃的材料出现,但是成本昂贵,且还是低于烧结所需要的温度。因为烧结加工温度要高于环氧树脂Tg温度,所以在烧结加工时环氧树脂可能变得强度不足无法承受较高的压力,引起模块的变形或者损坏。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷,本实用新型的目的是提供一种功率模块塑封结构。
根据本实用新型提供的一种功率模块塑封结构,包括:金属底板、环氧树脂层以及支撑件;
所述金属底板贴附连接在功率模块的底面,所述环氧树脂层包裹所述功率模块,共同将所述功率模块密封在内;
所述支撑件设置于所述环氧树脂层内,一端支撑所述功率模块基板的顶面,另一端位于所述环氧树脂层的顶面。
优选地,所述支撑件与所述功率模块相互垂直。
优选地,所述支撑件的所述另一端与所述环氧树脂层的顶面齐平。
优选地,所述支撑件包括金属件或工程塑料件。
优选地,所述功率模块包括端子,所述端子的一端穿过所述环氧树脂层露出在外。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡利普思半导体有限公司,未经无锡利普思半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021686256.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:速洗速干洗脚机
- 下一篇:环保型多功能显影浓度智能调节冲版装置