[实用新型]晶圆全自动抓取装置

权利要求书

1.晶圆全自动抓取装置，包括抓取盘（1）以及固设在所述抓取盘（1）上的支撑座（2），其特征在于：所述支撑座（2）上通过轴承（21）套设有一固定座（5），所述固定座（5）上设有至少两个呈对称结构设置且通过连杆组件（6）与其连接的抓取件（3），所述抓取件（3）可在所述抓取盘（1）上同步面向或背向所述支撑座（2）移动；所述抓取盘（1）上固设有一与其同心的吸附盘（4），所述吸附盘（4）上设有吹气孔（41）。

2.根据权利要求1所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述连杆组件（6）包括固设在所述固定座（5）上的固定销（61）和固设在所述抓取件（3）上的插销（62），所述固定销（61）和插销（62）之间设有L形连接条（63），所述连接条（63）的一端与所述固定销（61）枢轴连接，另一端与所述插销（62）枢轴连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述抓取件（3）包括设置在所述抓取盘（1）上方的限位板Ⅰ（31）和设置在所述抓取盘（1）下方的限位板Ⅱ（32），所述限位板Ⅰ（31）上固设有所述插销（62），所述限位板Ⅱ（32）上设有抓取杆（35），所述抓取杆（35）相互配合可将晶圆抓取；所述限位板Ⅰ（31）和所述限位板Ⅱ（32）之间设有一限位块（33），所述限位块（33）与所述抓取盘（1）上的限位槽（34）相适配。

4.根据权利要求3所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述限位块（33）呈土字状。

5.根据权利要求4所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述抓取盘（1）上均布有四个所述抓取件（3）。

6.根据权利要求5所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述轴承（21）的外圈上套设有一与所述固定座（5）同步转动的连接件（7），所述连接件（7）上固设有一驱动杆（8），所述驱动杆（8）上固设有一从动轮（9）。

7.根据权利要求6所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述支撑座（2）上开设有一贯穿孔（22），所述贯穿孔（22）与所述吹气孔（41）连通。

8.根据权利要求7所述的晶圆全自动抓取装置，其特征在于：所述吸附盘（4）上设有四个所述吹气孔（41）。