[实用新型]一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台

权利要求书

1.一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，包括第一导轨(1)、第二导轨(2)、工作台(3)、底板(4)、分隔板(5)、支撑柱(6)、第一安装板(7)、电磁铁柱(8)、限位凸起(9)、推动气缸(10)、第一斜块(11)、第一滑轮(12)、第二滑轮(13)、第二斜块(14)、第一拖链(15)、第二拖链(16)、铁环(17)、支撑杆(18)、滑轨(19)、第二安装板(20)、限位柱(21)和连接板(22)，其特征在于：所述第二导轨(2)的一侧安装有第一拖链(15)，所述第二导轨(2)上安装有第一气缸，所述第一导轨(1)上安装有滑块，且滑块的顶端与第二安装板(20)的底端中心处固定连接，所述第二安装板(20)的中心处与第一导轨(1)的底端中心处固定连接，所述第一导轨(1)的一侧与连接板(22)的一侧固定连接，所述连接板(22)的顶端安装有第二拖链(16)，所述底板(4)的顶端四角分别与支撑杆(18)的底端固定连接，所述支撑杆(18)的顶端分别与工作台(3)的底端四角固定连接，所述第一安装板(7)的顶端中心两侧分别与第一斜块(11)和第二斜块(14)的底端固定连接，所述第二斜块(14)的顶端与第二滑轮(13)的底端贴合，所述第二滑轮(13)的顶端与分隔板(5)的底端中心一侧两端固定连接，所述分隔板(5)的底端中心另一侧两端分别与第一滑轮(12)的顶端固定连接，所述铁环(17)的底端两侧中心两端分别与支撑柱(6)的顶端贴合，所述支撑柱(6)的底端分别贯穿工作台(3)的两侧中心两端开设的通孔与分隔板(5)的顶端两侧中心两端固定连接，所述分隔板(5)的底端中心处与限位凸起(9)的顶端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，其特征在于：所述底板(4)的顶端中心两侧分别与滑轨(19)的底端固定连接，且滑轨(19)上安装滑块，滑块的顶端与第一安装板(7)的底端两侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，其特征在于：所述底板(4)的顶端中心一侧安装有推动气缸(10)，且推动气缸(10)的输出端通过连接块与第一安装板(7)的一侧中心一端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，其特征在于：所述分隔板(5)的顶端四角分别与电磁铁柱(8)的底端固定连接，所述电磁铁柱(8)的顶端分别贯穿工作台(3)的中心四角开设的通孔与铁环(17)的底端四角吸附连接。

5.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，其特征在于：所述工作台(3)的底端四角分别与限位柱(21)的顶端固定连接，所述限位柱(21)的底端分别贯穿分隔板(5)的四角开设的通孔位于分隔板(5)的底端下方。