[实用新型]一种晶圆棒周转装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆棒周转装置，具有架体和置于所述架体上端面用于放置晶圆棒的若干放置槽，还具有：至少设置在两个所述放置槽上端面的滑轮件；以及用于固定所述晶圆棒的固定带；所述滑轮件被相对设置于所述放置槽上端面两内侧面，并与所述晶圆棒外壁接触；靠近所述晶圆棒底部一侧的两个所述滑轮件与所述晶圆棒的连接点与所述晶圆棒的切线夹角为锐角或直角；所述固定带被设置在所述放置槽宽度两侧；推动所述晶圆棒，并使其在所述滑轮件上沿所述架体长度方向水平滑动。本实用新型周转装置，可沿周转装置的长度方向自由地水平推移晶圆棒，并可将晶圆棒稳定地固定在周转装置上；提升晶圆棒移动运输的灵活性，节约运输调整时间。

技术领域

本实用新型属于钢卷加工上料设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆棒周转装置。

背景技术

为降低生产成本和提高太阳能硅片单位面积的转换效率，太阳能级直拉晶圆棒逐渐向大尺寸方向发展，现有已量产的晶圆棒的最大直径可达300mm或320mm，其长度在4-6m之间。晶圆棒完成后，需要用周转车将这些晶圆棒运输至截断机上进行标准截断工作；截断后的单晶棒仍然需要使用周转车进行运输或暂存周转。对于这类大直径的晶圆棒，如何保证其在周转车上往复移动、调整其前后位置，是保证其安全放置的重要条件。

中国公开专利CN202753980U单晶棒冷却小车和CN209126767U一种单晶运输车，都公开了一种晶圆棒运输小车，但这类小车仅适用于小直径的晶圆棒，而且对于大直径的晶圆棒放置到小车后，若晶圆棒放置位置不合理，则无法在小车本身上进行位置移动，严重影响晶圆棒的运输质量。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆棒周转装置，尤其是适用于大直径晶圆棒的移动运输，解决了现有技术中无法在周转装置上进行调整其放置位置的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种晶圆棒周转装置，具有架体和置于所述架体上端面用于放置晶圆棒的若干放置槽，还具有：

至少设置在两个所述放置槽上端面的滑轮件；

以及用于固定所述晶圆棒的固定带；

所述滑轮件被相对设置于所述放置槽上端面两内侧面，并与所述晶圆棒外壁接触；

靠近所述晶圆棒底部一侧的两个所述滑轮件与所述晶圆棒的连接点与所述晶圆棒的切线夹角为锐角或直角；

所述固定带被设置在所述放置槽宽度两侧；

推动所述晶圆棒，并使其在所述滑轮件上沿所述架体长度方向水平滑动。

进一步的，靠近所述晶圆棒底部一侧的两个所述滑轮件与所述晶圆棒的连接点与所述晶圆棒的切线夹角为直角。

进一步的，所述滑轮件轴线与所述晶圆棒轴线垂直设置，且置于所述放置槽同一位置处的所述滑轮件的高度均相同。

进一步的，沿所述架体长度方向上的若干单侧所述放置槽上设有两排并行设置的所述滑轮件。

进一步的，两排所述滑轮件交错设置在所述放置槽上。

进一步的，两排所述滑轮件并列设置在所述放置槽上；同一排所述滑轮件相邻设置或间隔设置。

进一步的，两排所述滑轮件均同向设置。

进一步的，所述滑轮件均是部分凸于所述放置槽内侧面设置。

进一步的，所述固定带两端分别与设置在所述放置槽两侧斜对角处的卡环可拆卸连接。

进一步的，所述放置槽为V型结构。