[实用新型]一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构有效
申请号: | 202021695449.1 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN213232569U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 田宇翔;娄中士;袁长宏;李鹏飞;田旭东;马飞 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 导流 固定 装置 运输 机构 | ||
1.一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,包括顶架、底架和连接所述顶架和所述底架的支杆组件,所述顶架与所述导流筒外壁相适配;所述导流筒被设置为贯穿所述顶架,并被内置于所述支杆组件围成的空间内悬空设置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,所述顶架为圆型架,在所述顶架任一直径两端均设有一组凹槽架,所述凹槽架开口朝上设置且与所述顶架一体连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,所述凹槽架为U型结构;所述凹槽架的深度和宽度与所述导流筒上端面的凸台的高度与宽度相适配。
4.根据权利要求2或3所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,所述底架为圆弧形结构、圆形结构或方形结构;且所述底架与所述顶架同轴心设置。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,圆弧形所述底架的直线边与所述底架直径平行,且与所述凹槽架宽度方向垂直设置。
6.根据权利要求1-3、5任一项所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,所述支杆组件包括四根对称设置的支撑杆,所述支撑杆均匀设置在所述底架周缘上。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,还包括绕设并连接于各所述支撑杆长度方向上的固定架;所述固定架为圆形结构,其直径与所述支撑杆的对角线相同。
8.根据权利要求7所述的一种单晶炉导流筒固定装置,其特征在于,所述固定架靠近于所述顶架一侧设置。
9.一种运输机构,其特征在于,包括如权利要求1-8任一项所述的固定装置,还包括移动小车,所述固定装置固设于所述小车的放置架上,且设置在所述顶架中的凹槽架分设于所述放置架两侧面;所述小车带动载有所述导流筒的所述固定装置进行移动,以使所述导流筒从单晶炉中被拆卸。
10.根据权利要求9所述的一种运输机构,其特征在于,圆弧形所述底架的直线边朝远离所述放置架一侧设置;且圆弧形所述底架下方还设有垫板架,所述垫板架垂直于所述放置架设置。
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