[实用新型]一种热板的圆片顶升装置有效

专利信息
申请号: 202021695474.X 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN212542369U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 蒋磊 申请(专利权)人: 江苏晋誉达半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 代理人: 金星
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 圆片顶升 装置
【权利要求书】:

1.一种热板的圆片顶升装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)上端固定设置有加热装置(2),所述箱体(1)一侧臂下端固定连接有放置箱(4),所述放置箱(4)内部固定设置有电机(12),所述电机(12)的输出端固定连接有第一转动杆(11),所述第一转动杆(11)的两端均固定连接有主动锥齿轮(10),所述箱体(1)内底部固定设置有三个转动底座(9),所述三个转动底座(9)内部分别转动设置有第一螺纹杆(6)、第二螺纹杆(7)和第三螺纹杆(8),所述第一螺纹杆(6)、第二螺纹杆(7)和第三螺纹杆(8)底部均固定连接有从动锥齿轮(13),所述第一螺纹杆(6)和第二螺纹杆(7)之间固定设置有两个支撑座(20),所述两个支撑座(20)上端内部转动设置有第二转动杆(19),所述第二转动杆(19)两端均固定连接有过渡锥齿轮(18),所述两个过渡锥齿轮(18)分别与第一螺纹杆(6)上的从动锥齿轮(13)和第二螺纹杆(7)上的从动锥齿轮(13)齿轮啮合,所述两个主动锥齿轮(10)分别与第一螺纹杆(6)上的从动锥齿轮(13)和第三螺纹杆(8)上的从动锥齿轮(13)齿轮啮合,所述第一螺纹杆(6)、第二螺纹杆(7)和第三螺纹杆(8)外壁均螺纹连接有螺纹座(15),所述三个螺纹座(15)上端均固定连接有用于顶升所述圆片的顶升杆(16)。

2.根据权利要求1所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述顶升杆(16)与螺纹座(15)固定连接,所述顶升杆(16)顶端开设有内孔(23),所述内孔(23)内部固定连接有顶针(3)。

3.根据权利要求2所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述顶升杆(16)顶端的内孔(23)为螺纹孔,所述顶针(3)螺纹安装于所述顶升杆(16)的内孔(23)内部。

4.根据权利要求1所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述加热装置(2)内部固定开设有三个圆形通孔(21),所述顶升杆(16)上下贯穿圆形通孔(21),所述顶升杆(16)与圆形通孔(21)之间设置有限位结构(24)。

5.根据权利要求4所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述限位结构(24)包括设置于圆形通孔(21)两侧的限位槽(22),对应的,所述顶升杆(16)侧壁两端均设置有限位边(17),所述限位边(17)在对应的限位槽(22)内部滑动。

6.根据权利要求1所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述放置箱(4)侧壁固定开设有多个散热孔(5)。

7.根据权利要求1所述的一种热板的圆片顶升装置,其特征在于:所述加热装置(2)上端固定开设有圆片放置槽(14)。

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