[实用新型]一种单晶炉提拉头校准装置有效
| 申请号： | 202021696644.6 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN212865065U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李仕权;周宏邦;娄中士;王淼;张强;侯明超;张庆虎;郝朝旭;孔凯斌;王立刚;郝小龙 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/30;G01M1/12 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉提拉头 校准 装置 | ||
1.一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，包括：
与重锤连接的固定部；
校准部；
以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部；
所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置；
所述校准部为锥形体结构且其小径端靠近所述连接部一侧设置；
所述校准部大径端为平整平面。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述校准部高度小于所述连接部高度，且其小径端直径与所述连接部直径相同。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述校准部大径端一侧设有凹槽，所述凹槽开口朝远离所述连接部一侧设置。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述凹槽与所述校准部同轴心设置。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述凹槽为圆台形结构，且其母线夹角与所述校准部母线夹角相同。
6.根据权利要求4或5所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述凹槽高度大于所述校准部高度的1/2，且小于所述校准部高度的4/5。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述校准部高度不大于180mm。
8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述连接部为柱状结构，且分别与所述固定部和所述校准部一体连接设置。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述固定部远离所述连接部一侧为柱体结构，靠近所述连接部一侧为倒锥形结构，且所述固定部最小直径大于所述连接部直径。
10.根据权利要求9所述的一种单晶炉提拉头校准装置，其特征在于，所述固定部远离所述连接部一端设有与所述重锤连接的内螺纹孔。
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