[实用新型]一种晶圆片高温处理用承载装置

权利要求书

1.一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，具有两相对设置的端板，在两所述端板之间至少设有两组间隔设置的支杆一和支杆二，所述支杆一置于所述端板下段部，所述支杆二位于所述支杆一的上方；两个所述支杆一之间的宽度小于两个所述支杆二之间的宽度，且两个所述支杆二之间的宽度小于或等于最大径晶圆片的直径；两个所述支杆一与最小径所述晶圆片圆心的夹角不大于45°。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，两个所述支杆二之间的宽度等于最大径所述晶圆片的直径；且两个所述支杆一与最小径所述晶圆片圆心的夹角为30°。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，还包括置于所述支杆一和所述支杆二之间的两个支杆三，两个所述支杆一、两个所述支杆二、两个所述支杆三与所述端板的连接点构成弧形结构，所述弧形与最大径所述晶圆片同心设置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，两个所述支杆三之间的宽度大于两个所述支杆二之间宽度的1/2且小于两个所述支杆二之间宽度的4/5。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，所述支杆一、所述支杆二和所述支杆三均为圆柱型结构，且其靠近所述晶圆片一侧设有若干与所述晶圆片相适配的卡槽。

6.根据权利要求4-5任一项所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，两个所述端板结构相同；所述端板下端面为平整面，设有若干组开口朝外且对称设置的凹槽；所述凹槽深度低于所述支杆一的位置高度。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，所述端板下端面的两侧均设有倒角，所述倒角高度高于所述支杆一的高度且小于所述支杆三的高度。

8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，其中一个所述端板远离所述支杆一侧面设有把手，所述把手与所述端板垂直或倾斜设置。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，所述把手置于所述端板上段部且靠近高度方向的中间一侧设置；所述把手为圆弧结构或L型结构。

10.根据权利要求1-2、4-5、7、9任一项所述的一种晶圆片高温处理用承载装置，其特征在于，所述晶圆片最大直径为320mm，最小直径为200mm。