[实用新型]坩埚生产用透气装置及石墨模具

说明书

本实用新型的坩埚生产用透气装置包括透气塞体、透气网，所述透气塞体和过滤网卡合连接，所述透气塞体的外壁设有螺旋状凸起，透气塞体与石墨模具的孔洞过盈配合，透气塞体沿轴线方向上设有透气通道，透气网设置在透气通道上；所述透气塞体的头部还设有一字槽或十字槽，以便于螺丝刀旋拧。安装时，将透气塞体对照石墨模具的孔洞，用螺丝刀将透气塞体从石墨模具的内壁塞入孔洞中。如此，不易从石墨模具内脱落，且透气性好。本实用新型还提供一种包含透气装置的坩埚生产用石墨模具。

技术领域

本实用新型涉及坩埚加工设备技术领域，尤其涉及一种坩埚生产用透气装置及石墨模具。

背景技术

石英玻璃坩埚通常是Czochralski法(CZ法)拉制单晶硅棒的重要辅件,且是单晶硅生长过程中占据成本比重较高的辅料。当前市面上应用较广的石英玻璃坩埚生产方法采用电熔工艺，真空电熔工艺是其中最为主流的生产工艺。真空电熔工艺生产出来的石英玻璃坩埚在结构上分为两层，即真空透明层和不透明层。真空透明层呈透明玻璃态，上乘的真空透明层不存在微气泡，在持续高温和硅液的反应下不易释放杂质影响成晶。因此，真空石英玻璃坩埚目前广泛应用于多次加料的单晶拉制工艺。

真空透明层最为关键的性能指标即是微气泡水平，直接影响微气泡水平除了原材料石英砂自身品质的影响外，就是抽真空效果的影响。抽真空的过程实际是通过真空泵将石英砂融化过程中产生的气体排出的过程。通常会在石墨模具的内壁设计很多孔洞，以排出气体。为了达到较佳的排气效果，孔洞要适中，孔洞过小透气性不好，对于石墨模具的加工也会带来不便，孔洞过大会导致石英砂漏出。为了达到较佳的透气性又不会漏出石英砂，会在孔洞里设置透气装置。透气装置会直接影响排气效果从而影响到产品的真空效果进而影响产品品质。

早期使用的透气装置是石英棉，石英棉安装简单造价便宜，应用较广。由于石英棉形状大小简单，塞入孔洞的深浅也不统一，在真空压力作用下，会存在易脱落及堵塞的情况，生产出来的石英玻璃坩埚透明层气泡水平不稳定，或者同一坩埚不同部位的透明层气泡水平存在差异。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种不易脱落且透气性佳的坩埚生产用透气装置。

还有必要提供一种坩埚生产用石墨模具。

一种坩埚生产用透气装置包括透气塞体、透气网，所述透气塞体和过滤网卡合连接，所述透气塞体的外壁设有螺旋状凸起，透气塞体与石墨模具的孔洞过盈配合，透气塞体沿轴线方向上设有透气通道，透气网设置在透气通道上；所述透气塞体的头部还设有一字槽或十字槽，以便于螺丝刀旋拧。

优选的，所述透气网为不锈钢网，透气网与透气塞体焊接。

优选的，所述透气塞体的末端设有内挡边，透气网与内挡边接触，以防止透气网滑脱。

优选的，所述透气塞体包括外挡边、塞柱，外挡边与塞柱同轴，且外挡边的外径大于塞柱的外径，外挡边和塞柱的中心均中空作为透气通道，一字槽或十字槽贯穿外挡边，所述螺旋状凸起位于塞柱上，透气网位于塞柱内。

优选的，所述外挡边与塞柱一体成型。

优选的，所述外挡边设有外螺纹，塞柱设有内螺纹，外挡边和塞柱螺纹连接，塞柱的内螺纹的螺旋方向与螺旋状凸起的旋转方向相反。

一种坩埚生产用石墨模具包括模具本体、透气装置，所述模具本体上均匀设置若干透气孔洞，透气孔洞与透气装置卡合连接，所述透气装置包括透气塞体、透气网，所述透气塞体和过滤网卡合连接，所述透气塞体的外壁设有螺旋状凸起，透气塞体与透气孔洞过盈配合，透气塞体沿轴线方向上设有透气通道，透气网设置在透气通道上；所述透气塞体的头部还设有一字槽或十字槽，以便于螺丝刀旋拧。

优选的，所述透气孔洞包括外挡边孔、塞柱孔，外挡边孔的直径与外挡边的直径相匹配，塞柱孔的直径与塞柱的外径相匹配，且塞柱孔与塞柱过盈配合。