[实用新型]一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置有效
| 申请号： | 202021699819.9 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212925154U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 201202 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全新 物理 沉积 铝腔体磁控 装置 | ||
1.一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，包括磁控装置，其特征在于：所述磁控装置由齿轮一(1)、齿轮二(2)、齿轮三(3)和永磁体(4)组成，所述齿轮一(1)的中部安装有连接杆(5)，所述连接杆(5)的内侧设置有驱动电机(6)且外端连接有支撑杆一(7)，所述驱动电机(6)的动力输出端与连接杆(5)相连接，所述支撑杆一(7)的外端安装有配重块一(8)，所述配重块一(8)位于齿轮一(1)的外侧，所述齿轮一(1)与上方的所述齿轮二(2)啮合，所述齿轮二(2)与右侧的齿轮三(3)相啮合，所述齿轮三(3)的外侧水平安装有支撑杆二(9)，所述支撑杆二(9)的内端安装有配重块二(10)且外端与永磁体(4)相连接，所述配重块二(10)位于齿轮三(3)的正上方，所述永磁体(4)位于齿轮三(3)的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，其特征在于：所述齿轮一(1)的直径小于齿轮二(2)的直径，所述齿轮二(2)的直径小于齿轮三(3)的直径。
3.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，其特征在于：所述配重块一(8)呈正方体结构，所述配重块二(10)呈盘状结构，所述配重块一(8)的规格大于配重块二(10)的规格。
4.根据权利要求3所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，其特征在于：所述永磁体(4)呈长方体结构且规格大于配重块一(8)以及配重块二(10)的规格。
5.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，其特征在于：所述支撑杆一(7)的长度小于支撑杆二(9)的长度。
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