[实用新型]一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体模拟片配件装置

权利要求书

1.一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体模拟片配件装置，包括：配件本体(1)，其特征在于：所述配件本体(1)中部为中空结构且形成有内腔(4)，所述配件本体(1)的外壁向外呈弧形凸出，所述配件本体(1)的底部水平形成平底(5)，所述平底(5)的表面上开设有若干个凹槽(2)。

2.根据权利要求1所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体模拟片配件装置，其特征在于：若干个所述凹槽(2)呈环形结构，且凹槽(2)的直径由平底(5)中部向两侧逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体模拟片配件装置，其特征在于：所述配件本体(1)上设置有凸环(3)，所述凸环(3)和凹槽(2)均与配件本体(1)一体成型。

4.根据权利要求1所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体模拟片配件装置，其特征在于：所述配件本体(1)的直径为203mm。