[实用新型]一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置有效
| 申请号： | 202021699842.8 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212925146U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 201202 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全新 英寸 物理 沉积 钽腔体 连接 配件 装置 | ||
1.一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，包括：连接台(1)和连接柱(2)，其特征在于：所述连接柱(2)设置在连接台(1)的一端且与连接台(1)一体成型，所述连接柱(2)和连接台(1)均为柱形结构，所述连接台(1)和连接柱(2)的外壁上均匀刻制有刻花(3)，所述刻花(3)包括若干条倾斜相交的凸条(4)，所述凸条(4)相交形成若干个六边形结构的空腔(5)，所述连接柱(2)表面的空腔(5)面积小于连接台(1)表面的空腔(5)面积。
2.根据权利要求1所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，其特征在于：所述连接台(1)的表面中部开设有通孔(6)，所述连接台(1)和连接柱(2)的内部开设有与通孔(6)相连通的连接孔(7)。
3.根据权利要求2所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，其特征在于：所述连接孔(7)的内壁上开设有环槽(8)，所述连接孔(7)的直径为通孔(6)直径的两倍。
4.根据权利要求3所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，其特征在于：所述环槽(8)的深度等于连接台(1)壁厚的三分之二。
5.根据权利要求1所述的一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，其特征在于：所述连接台(1)的外壁呈弧形结构，所述连接台(1)与连接柱(2)的连接处做平滑过渡处理。
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