[实用新型]一种激光加工晶圆柔性夹持结构

说明书

本实用新型提供一种激光加工晶圆柔性夹持结构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧。通过调节夹持板弹簧的弹力可以调整上夹持板和下夹持板的夹持力。并且可以在夹持过程中提供缓冲，有效的保护晶圆托盘。

技术领域

本实用新型属于晶圆加工领域，具体涉及一种激光加工晶圆柔性夹持结构。

背景技术

晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并转移到切割平台上进行加工。晶圆夹持机构包括上夹持板和下夹持板；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连。夹持气缸带动上、下夹持板夹持或者松开。因为夹持气缸的行程使固定的，不能调节。夹持过紧，容易损伤晶圆托盘，夹持过松，移动过程中晶圆托盘位置容易发生变化，甚至脱落。

实用新型内容

本实用新型提供一种激光加工晶圆柔性夹持结构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种激光加工晶圆柔性夹持结构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧。

晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板，夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体固定在夹持连接板上；上夹持板与夹持连接板相连；所述夹持板弹簧设置在上夹持板和下夹持板之间且位于晶圆托盘与上夹持板、下夹持板接触位置的后方。

上夹持板后端设置夹持气缸避让槽，夹持气缸避让槽的两侧分别设置夹持板弹簧。

夹持板弹簧为拉簧，夹持气缸为单作用气缸；通气时，夹持气缸带动下夹持板向下移动；不通气时，拉簧将下夹持板拉拉回复位；夹持状态下；拉簧的伸长量大于下夹持板的重力对应的伸长量。

夹持板弹簧为拉簧，夹持气缸为双作用气缸，一端可选择的连通气源或者大气、另一端直接连通大气；通气时，夹持气缸带动下夹持板向下移动；不通气时，拉簧将下夹持板拉拉回复位；夹持状态下；拉簧的伸长量大于下夹持板的重力对应的伸长量。

上夹持板前端部分设置向下的夹持挡片，下夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片下端伸入挡片避让槽；或者下夹持板前端部分向上设置夹持挡片，上夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片上端伸入挡片避让槽。

本实用新型的有益效果是：上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧。通过调节夹持板弹簧的弹力可以调整上夹持板和下夹持板的夹持力。并且可以在夹持过程中提供缓冲，有效的保护晶圆托盘。

附图说明

图1是晶圆加工设备直线转运机构位置示意图（隐藏壳体以及部分无关零部件）。

图2是晶圆夹持机构结构示意图（隐藏部分遮挡的零部件）。

图3是上夹持板以及下夹持板部分放大图。

图4是上夹持板以及下夹持板前侧示意图。

图5是晶圆夹持机构剖视简图（有夹持板弹簧的实施例）。

图6是夹持滑块示意简图。

其中，1是机架、2是晶圆存料盒、3是晶圆夹持机构、30是上夹持板、300是夹持挡片、302夹持气缸避让槽、31是下夹持板、310是挡片避让槽、311夹持板位移检测条、32是夹持气缸、320夹持气缸滑块、33夹持板弹簧、34是夹持连接板、35是夹持滑块、350滑块位移检测条、36是直线转运丝杠机构、37是直线转运滑块、370滑块位移传感器、38是夹持滑块复位弹簧、39夹持直线转运滑轨、4是晶圆托盘。

具体实施方式