[实用新型]一种氙气尾气的回收装置

权利要求书

1.一种氙气尾气的回收装置，其特征在于：其包括冷却装置、充氮装置及吸附装置，所述冷却装置设有进气管和吸附管，所述进气管用于通入待回收的氙气尾气，所述吸附装置包括依次连接的排废机构、固化吸附机构和回收机构，所述吸附管与所述排废机构之间连接有真空泵，且所述排废机构上设置有第一压力变送器，所述固化吸附机构设有充氮管，所述充氮管与所述充氮装置连接，且所述固化吸附机构里设置有第一吸附剂层，所述回收机构包括连接的压缩机和纯化器，所述纯化器通过回收管连接有回收容器，所述回收容器上设置有第二压力变送器。

2.根据权利要求1所述一种氙气尾气的回收装置，其特征在于，所述排废机构包括排废箱、若干交替设置于所述排废箱内部的隔流板、及由所述隔流板形成的处理腔，所述排废箱设置有进料口和出料口，所述进料口、所述出料口分别与所述真空泵、所述固化吸附机构连接。

3.根据权利要求2所述一种氙气尾气的回收装置，其特征在于，于所述隔流板上设置有第二吸附剂层。

4.根据权利要求1所述一种氙气尾气的回收装置，其特征在于，所述回收容器内设置有用于检测其内部气压的气压检测装置。

5.根据权利要求4所述一种氙气尾气的回收装置，其特征在于，于所述回收管上设置有止回阀。

6.根据权利要求5所述一种氙气尾气的回收装置，其特征在于，于所述进气管和所述吸附管上分别设置有第一气动阀和第二气动阀。