[实用新型]一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统

权利要求书

1.一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：包括激光转向装置(1)、色散补偿单元(2)、光功率控制单元(3)、第一分束镜(4)、第二分束镜(5)、光功率探测器(6)、峰值功率探测器(7)、环境监测器(8)和反馈控制器(9)；

所述激光转向装置(1)将入射激光(10)进行三次反射后，依次入射到色散补偿单元(2)、光功率控制单元(3)、第一分束镜(4)、第二分束镜(5)后，被分成三束光，其中一束为出射光，另外两束分别辐射在光功率探测器(6)和峰值功率探测器(7)上；

所述环境监测器(8)的输出端与反馈控制器(9)的输入端相连，所述峰值功率探测器(7)的输出端、光功率探测器(6)的输出端、激光转向装置(1)的输出端分别与反馈控制器(9)的输入端相连，所述反馈控制器(9)的输出端分别与激光转向装置(1)的输入端、光功率控制单元(3)的输入端、色散补偿单元(2)的输入端相连。

2.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述激光转向装置(1)包括第一高反射镜(101)、第一压电驱动镜座(102)、第一电机控制器(103)、第二高反射镜(104)、第二压电驱动镜座(105)、第二电机控制器(106)、第一聚焦透镜(107)、第一四象限二极管(108)、第三高反射镜(109)、第二聚焦透镜(110)和第二四象限二极管(111)；所述激光(10)依次经过第一高反射镜(101)、第二高反射镜(104)、第三高反射镜(109)后射出；所述第一高反射镜(101)设置在第一压电驱动镜座(102)上，所述第一压电驱动镜座(102)与第一电机控制器(103)相连，所述第二高反射镜(104)设置在第二压电驱动镜座(105)上，所述第二压电驱动镜座(105)与第二电机控制器(106)相连；所述激光(10)透过第二高反射镜(104)后经过第一聚焦透镜(107)汇聚在第一四象限二极管(108)上，所述激光(10)透过第三高反射镜(109)后经过第二聚焦透镜(110)汇聚在第二四象限二极管(111)上。

3.根据权利要求2所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述反馈控制器(9)的输出端分别与第一电机控制器(103)的输入端、第二电机控制器(106)的输入端相连，所述第一四象限二极管(108)的输出端、第二四象限二极管(111)的输出端分别与反馈控制器(9)的输入端相连。

4.根据权利要求2所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述第一四象限二极管(108)、第二四象限二极管(111)均由硅、锗、硫化镉、硒化镉、硫化铅和铟镓砷中的任意一种材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述光功率探测器(6)为光电二极管、热电堆探测器、焦热电探测器、光电倍增管、CCD和CMOS中的任意一种。

6.根据权利要求5所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述光电二极管为硅光电二极管、锗光电二极管、铟镓砷探测器、超晶格探测器、铟砷探测器、铟碲探测器和碲镉汞探测器中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述峰值功率探测器(7)为基于双光子或者多光子效应工作的探测器。

8.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述光功率控制单元(3)为半波片、偏振控制器、可调中性密度衰减片中的一种或多种。

9.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述第一分束镜(4)的分束比是0～100％之间的任意值，所述第二分束镜(5)的分束比是0～100％之间的任意值。

10.根据权利要求1所述的一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统，其特征在于：所述反馈控制器(9)为PID闭环控制器或人工智能闭环控制器。