[实用新型]一种主轴冷却水的回收利用系统有效
申请号: | 202021704263.8 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN213141656U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 吴俊;李细华 | 申请(专利权)人: | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
主分类号: | C02F9/04 | 分类号: | C02F9/04;C02F103/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 卢泽明 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 主轴 冷却水 回收 利用 系统 | ||
本实用新型涉及工业用水回收利用技术领域,尤其涉及一种主轴冷却水的回收利用系统,包括依次连通的回收池、过滤组件以及纯水机,其中:回收池连通若干个加工设备的主轴冷却水排放管;过滤组件包括依次连通的石英砂过滤桶、活性炭过滤桶以及树脂过滤桶,树脂过滤桶还连通有盐水桶;本实用新型的回收利用系统先将加工设备的主轴冷却水汇集到回收池中,再通过第一水泵将收集到的主轴冷却水与外接水一起经过过滤组件过滤后,能够作为纯水机的原水使用,节约水资源,降低车间生产成本;并且在清洗维护过滤组件时往树脂过滤桶中通入盐溶液,达到再生树脂的目的,延长过滤树脂的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及工业用水回收利用技术领域,尤其涉及一种主轴冷却水的回收利用系统。
背景技术
晶圆加工流程中通常包括切割、研磨等步骤,生产设备的主轴所使用的冷却水相对产品加工的冷却水比较干净,而现有的生产作业中都是将主轴的冷却水和加工冷却水一起排放至污水井,浪费水资源,增加车间生产成本。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的不足,本实用新型提供了一种主轴冷却水的回收利用系统,能够将加工设备的主轴冷却水回收过滤后作为纯水机的原水使用,节约水资源,降低车间生产成本。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为:一种主轴冷却水的回收利用系统,包括依次连通的回收池、过滤组件以及纯水机,其中:所述回收池连通若干个加工设备的主轴冷却水排放管;所述过滤组件包括依次连通的石英砂过滤桶、活性炭过滤桶以及树脂过滤桶,所述树脂过滤桶还连通有盐水桶;所述回收池与所述过滤组件之间设置有第一水泵,所述第一水泵还连通有外接水管。
进一步地,所述树脂过滤桶以及所述盐水桶之间还设置有开关阀。
进一步地,所述树脂过滤桶以及所述盐水桶(404)之间连接的管路上设置有第二水泵。
进一步地,所述石英砂过滤桶和/或所述活性炭过滤桶包括中空的桶体,所述桶体中设置有过滤筛板以及滤袋,石英砂和/或活性炭放置在所述滤袋中。
进一步地,所述树脂过滤桶包括外套筒以及设置在所述外套筒中的内套筒,所述内套筒的侧壁上设置有网孔,所述内套筒连接有输出口,所述外套筒连接有输入口,树脂设置在所述外套筒与所述内套筒之间的区域。
进一步地,所述内套筒的外壁上包覆有滤布。
进一步地,所述内套筒的底部倾斜设置,所述输出口设置在所述内套筒的底部最低点的位置。
本实用新型的有益效果有:本实用新型的回收利用系统先将加工设备的主轴冷却水汇集到回收池中,再通过第一水泵将收集到的主轴冷却水与外接水一起经过过滤组件过滤后,能够作为纯水机的原水使用,节约水资源,降低车间生产成本;并且本实用新型的过滤组件还包括树脂过滤桶,树脂过滤桶还连通有盐水桶,在清洗维护过滤组件时往树脂过滤桶中通入盐溶液,达到再生树脂的目的,延长过滤树脂的使用寿命。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是本实用新型实施例的回收利用系统的流程示意图;
图2是本实用新型实施例的过滤组件的流程示意图;
图3是本实用新型实施例的石英砂过滤桶或活性炭过滤桶的结构示意图;
图4是本实用新型实施例的树脂过滤桶的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海市中芯集成电路有限公司,未经珠海市中芯集成电路有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021704263.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种播种货架
- 下一篇:一种用于流滴剂生产的冷却破碎装置