[实用新型]一种自动旋涂机

说明书

本实用新型公开了一种自动旋涂机,包括上料治具、夹爪组件、精密注射泵、点胶组件、旋涂主体、曝光组件、成品治具、双层密封机壳、控制面板和旋涂台；所述旋涂主体设于旋涂台中心，上料治具、夹爪组件、成品治具、曝光组件、点胶组件和精密注射泵依次环绕设于旋涂主体周围，安装于旋涂台上，所述双层密封机壳套设于旋涂台上方，控制面板设于旋涂台一侧，通过活动连接杆连接。本实用新型能非常有效的提高旋涂的良品率，也能够提高旋涂的效率,优秀的控制系统保证了旋涂加速度、速度稳定，滴胶量精确控制，曝光时间、强度精确控制。

技术领域

本实用新型涉及一种旋涂机，具体涉及一种自动旋涂机。

背景技术

在现有技术中实验室主要使用的是单体的旋涂仪，需要将旋涂仪放置在通风橱中，人工放上硅片等旋涂基片，人工操作注射泵或是直接使用注射器点胶，操作旋涂仪按照指定加速度、速度旋转指定时间，然后人工取下硅片等旋涂基片放置到曝光位固化旋涂液，由于旋涂工艺有需要多次滴胶旋涂的，所以需要人工不断重复这个过程，但是随着光学行业发展迅猛，对于旋涂的质量要求更高，旋涂效率要求更快；且单体的旋涂仪需要放置在通风橱中，人工放上硅片等旋涂基片，人工操作注射泵或是直接使用注射器点胶，操作旋涂仪按照指定加速度、速度旋转指定时间，然后人工取下硅片等旋涂基片放置到曝光位固化旋涂液，由于旋涂工艺有需要多次滴胶旋涂的，所以需要人工不断重复这个过程。在这个过程中通风橱频繁开启会有污染环境的可能，人工放置旋涂基片位置很不准确，人工操作点胶量也不是很精确，这些都会造成良品率的偏低；在需要多次旋涂的情况下，良品率将更加低，假设单次旋涂良品率90％，在旋涂5 次的情况下良品率将只有59％。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是能非常有效的提高旋涂的良品率，也能够提高旋涂的效率。首先封闭式机壳及空气循环净化系统给旋涂提供了一个非常洁净的环境；其次三个两轴机械手，不仅保证了旋涂基片的取放位置精准，滴胶位置精准，曝光位置精准，也提高了取放、滴胶、曝光相互配合的效率；优秀的控制系统保证了旋涂加速度、速度稳定，滴胶量精确控制，曝光时间、强度精确控制。

本实用新型自动旋涂机是通过以下技术方案来实现的：包括上料治具、夹爪组件、精密注射泵、点胶组件、旋涂主体、曝光组件、成品治具、双层密封机壳、控制面板和旋涂台；

旋涂主体设于旋涂台中心，上料治具、夹爪组件、成品治具、曝光组件、点胶组件和精密注射泵依次环绕设于旋涂主体周围，安装于旋涂台上，双层密封机壳套设于旋涂台上方，控制面板设于旋涂台一侧，通过活动连接杆连接。

作为优选的技术方案，旋涂主体包括旋涂托盘、旋涂锅与吸盘，所述吸盘设于旋涂锅内，旋涂托盘设于旋涂锅下方，旋涂托盘内部贯穿，旋涂锅底部设有小孔，用于抽离废气，进行初效过滤，吸盘用于吸附加工产品，将产品悬空曝光固化，提高成品率，旋涂主体旋涂速度0～10000r/min，转速稳定性+-0.01％。

作为优选的技术方案，精密注射泵包括一个以上的注射器、加热管、注射器固定件、推注器和注射泵支架，注射器前端设有加热管，中央采用注射器固定件固定，推注器设于注射器尾部，推注器一端设有电机，加热管用于加热和保持温度，推注器推动注射器往点胶组件注胶，胶量可以精确控制在+-0.1mg。

作为优选的技术方案，夹爪组件包括第一升降旋转轴、伸缩组件和夹爪，所述夹爪与伸缩组件连接，伸缩组件安装于升降旋转轴上方，伸缩组件一端设有第一电机，夹爪一侧也设有第二电机，通过第一升降旋转轴与第一、第二电机的联动夹取放下产品。

作为优选的技术方案，曝光组件包括第二升降旋转轴、曝光支架、爆光灯、透镜组、氮气腔；所述曝光支架安装于升降旋转轴上方，爆光灯、透镜组和氮气腔依次连接，且安装于曝光支架一侧，用于产品曝光。

作为优选的技术方案，点胶组件包括第三可升降旋转轴、点胶支架、过滤器安装架和点胶头，点胶支架安装于第三升降旋转轴上方，过滤器安装架安装于点胶支架上方，点胶头安装于点胶支架一端，用于产品点胶。