[实用新型]一种半导体封装设备有效
申请号: | 202021710079.4 | 申请日: | 2020-08-17 |
公开(公告)号: | CN213042877U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 马春游 | 申请(专利权)人: | 容泰半导体(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 盐城平易安通知识产权代理事务所(普通合伙) 32448 | 代理人: | 陈彩芳 |
地址: | 212400 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 设备 | ||
1.一种半导体封装设备,其特征在于:包括封装箱体(1),所述封装箱体(1)的下表面固定安装有安装柜体(2),所述封装箱体(1)的内部活动安装有封装上模(3),所述封装箱体(1)的内部上表面固定安装有二号液压泵(4),所述封装箱体(1)的下表面固定安装有加热封装下模(5),所述封装箱体(1)的内部位于加热封装下模(5)的一侧固定安装有注塑机(6),所述封装箱体(1)的上表面固定安装有过滤箱体(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述封装箱体(1)的前表面开设有操作端口,所述封装箱体(1)的前表面位于操作端口的一侧边缘活动安装有密封箱门(101),所述密封箱门(101)的另一侧固定安装有固定卡(103),所述封装箱体(1)的前表面位于操作端口另一侧活动安装有固定卡销(104),所述封装箱体(1)的前表面位于固定卡销(104)远离操作端口的一侧固定安装有控制面板(102)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述密封箱门(101)通过合页与封装箱体(1)活动连接,所述密封箱门(101)的中部固定嵌设安装有钢化玻璃,所述密封箱门(101)通过固定卡销(104)卡在固定卡(103)上与封装箱体(1)固定。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述封装上模(3)的上表面靠近两侧面位置均连接安装有一号液压泵(301),所述封装上模(3)的下表面开设有上模槽(302),所述封装上模(3)的下表面位于上模槽(302)的四周均开设有引脚凹槽(303),所述封装上模(3)的表面位于引脚凹槽(303)之间开设有剪切端口(304)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述引脚凹槽(303)的数量根据半导体引脚数量设定,所述一号液压泵(301)固定安装于封装箱体(1)内部的上表面。
6.根据权利要求4所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述二号液压泵(4)的输出端固定连接安装有安装面板(401),所述安装面板(401)的下表面固定安装有剪切结构(402),所述剪切结构(402)与封装上模(3)中的剪切端口(304)对应设置。
7.根据权利要求4所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述加热封装下模(5)的内部开设有注塑通道(501),所述加热封装下模(5)的表面位于注塑通道(501)的端口处开设有注塑端口(502),所述加热封装下模(5)的上表面开设有下模槽(503),所述注塑通道(501)通过垂直通道与下模槽(503)连通,所述封装上模(3)与加热封装下模(5)相匹配,所述上模槽(302)和所述下模槽(503)的数量一共为三个,所述上模槽(302)和所述下模槽(503)相匹配。
8.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述过滤箱体(7)的内部表面固定安装有嵌设滑道(701),所述过滤箱体(7)的内部固定嵌设安装有活性炭滤网(702),所述过滤箱体(7)的内部位于活性炭滤网(702)的下方固定嵌设安装有HEPA高效微粒滤网(703),所述过滤箱体(7)的内部位于HEPA高效微粒滤网(703)的下方固定嵌设安装有超高效玻纤滤网(704),所述活性炭滤网(702)、HEPA高效微粒滤网(703)和超高效玻纤滤网(704)的外表面边缘均固定安装有安装边框(705),所述过滤箱体(7)的上表面固定连接安装有导气管(706),所述导气管(706)的另一端固定连接安装有抽烟机(707),所述安装边框(705)的外侧表面固定安装有抽出拉手(708)。
9.根据权利要求8所述的一种半导体封装设备,其特征在于:所述过滤箱体(7)的下端口与封装箱体(1)连通,所述安装边框(705)的上表面和下表面靠近边缘位置均固定安装有密封环,所述安装边框(705)通过密封环和嵌设滑道(701)与封装箱体(1)的内侧面形成密封结构,所述过滤箱体(7)的上表面通过导气管(706)与抽烟机(707)连通,所述抽烟机(707) 的排出端口固定连接安装有排烟管道,所述加热封装下模(5)和所述封装上模(3)的表面均固定安装有散热翅片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造