[实用新型]一种槽式高效烘干系统

权利要求书

1.一种槽式高效烘干系统，其特征在于，包括有烘干槽、空气加热装置，所述烘干槽包括主槽、副槽、槽盖，所述副槽设置在主槽内，副槽底部设有匀流管，所述匀流管内壁均匀分布小孔，所述槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，所述空气加热装置置于烘干槽外部。

2.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，所述匀流管上方装有匀流板，防止副槽内的碎硅片掉入槽底部，便于槽体清理。

3.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，鼓风机从外部抽进空气送入空气加热装置内，鼓风机抽风端、抽风尾端连接高效过滤器保证空气洁净度，同时泵抽风口装有一个过滤网，避免颗粒物抽入泵中。

4.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，所述烘干槽、匀流管优先采用PVDF材质。