[实用新型]提升化料效率的热场装置

说明书

本实用新型公开了一种提升化料效率的热场装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是提高单晶炉化料的效率。本实用新型的主要技术方案为：提升化料效率的热场装置，该装置包括：第一加热器、第二加热器和第三加热器；所述第一加热器包括第一曲折板和多个第一支撑板，所述第一曲折板环绕于坩埚的轴侧上部，每一个所述第一支撑板的一端连接于所述第一曲折板，另一端连接于炉底电极；所述第二加热器包括第二曲折板和多个第二支撑板，所述第二曲折板环绕于坩埚的轴侧下部，每一个所述第二支撑板的一端连接于所述第一曲折板，另一端连接于炉底电极；所述第三加热器设置于坩埚的底部，所述第三加热器环绕于坩埚轴。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种提升化料效率的热场装置。

背景技术

单晶炉热场是由加热、保温系统及石墨原件组成并形成一定温度分布的温度场。石墨元器件主要包括：加热器、保温筒、炉底护盘、上保温盖等其他部件。

热场的好坏直接影响单晶棒的质量、产能。热场中最重要的部分就是加热器，它为单晶炉稳定、持续的提供能量。加热器出现故障，单晶炉便失去唯一的热源。

单晶炉加热器电源是恒功率源，由电源供给直流低电压，通过低阻值石墨加热器，产生直流高电流，利用高电流发热为单晶炉提供热能。

常见加热器为筒式，自上而下分为：降温区，高温区，低温区。降温区：自上而下加热效果逐渐增强；高温区：该部分为加热器核心加热部分，自高温区的中部向高温区的两侧加热效果逐步减弱；低温区：该部分为加热最差的部分。目前为降低单晶棒中氧含量，加热器发热区宽度为前期加热器的二分之一，甚至更窄，虽然这类加热器达到了降低氧含量目的，但也相应延长了化料时间。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种提升化料效率的热场装置，主要目的是提高单晶炉化料的效率。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种提升化料效率的热场装置，该装置包括：第一加热器、第二加热器和第三加热器；

所述第一加热器包括第一曲折板和多个第一支撑板，所述第一曲折板环绕于坩埚的轴侧上部，每一个所述第一支撑板的一端连接于所述第一曲折板，另一端连接于炉底电极；

所述第二加热器包括第二曲折板和多个第二支撑板，所述第二曲折板环绕于坩埚的轴侧下部，每一个所述第二支撑板的一端连接于所述第一曲折板，另一端连接于炉底电极；

所述第三加热器设置于坩埚的底部，所述第三加热器环绕于坩埚轴；

所述第一曲折板和坩埚之间的间隔为第一间隔，所述第二曲折板和坩埚之间的间隔为第二间隔，所述第一间隔小于所述第二间隔，所述第一支撑板贯穿所述第二间隔。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，多个所述第一支撑板关于坩埚的中轴线中心对称分布。

可选的，多个所述第二支撑板关于坩埚的中轴线中心对称分布。

可选的，所述第一支撑板和所述第二曲折板的距离为15mm。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

当单晶炉运行时，第一路直流电流依次流经炉底电极、第一支撑板和第一曲折板，第一曲折板将电能转化为热能，并将热能辐射至坩埚的上半部分；第二路直流电流依次流经炉底电极、第二支撑板和第二曲折板，第二曲折板将电能转化为热能，并将热能辐射至坩埚的下半部分；第三路直流电流流动至第三加热器，第三加热器将电能转化为热能，并将热能辐射至坩埚的底部。这样在硅原料化料的过程中，坩埚全方位受热，提高了单晶炉化料的效率。

附图说明