[实用新型]低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉

说明书

本实用新型公开了低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉，具体涉及热处理炉技术领域，其技术方案是：包括热处理炉，所述热处理炉上端固定安装支撑竖杆一，所述支撑竖杆一上端固定安装放卷辊，所述放卷辊内壁开设滑槽，所述放卷辊右端固定安装滑柱，所述滑柱插接在所述滑槽内壁，所述热处理炉上端开设滑道，所述支撑竖杆一安装在所述滑道内壁，所述热处理炉上端固定安装支撑竖杆二，所述支撑竖杆一右端固定安装把手，所述把手穿过所述支撑竖杆二内壁延伸至所述支撑竖杆二右端，本实用新型有益效果是：通过使辊根据聚酰亚胺薄膜的宽度改变其尺寸宽度，以及对辊进行定位，对聚酰亚胺薄膜具有定位作用。

技术领域

本实用新型涉及热处理炉领域，具体涉及低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉。

背景技术

聚酰亚胺薄膜以其优异的机械性能﹑耐高温性能﹑耐辐射性能﹑低介电常数和高电阻率等优异性能，广泛应用于微电子行业作为介电空间层﹑金属薄膜的保护覆盖层和基材，尤其用于挠性覆铜板领域，聚酰亚胺薄膜通常为橘黄色，石墨或玻璃纤维增强的聚酰亚胺的抗弯强度可达到345MPa，抗弯模量达到20GPa，热固性聚酰亚胺蠕变很小，有较高的拉伸强度，聚酰亚胺的使用温度范围覆盖较广，从零下一百余度到两三百度。

现有技术存在以下不足：现有的低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉上辊的宽度是固定尺寸，当聚酰亚胺薄膜宽度小的时候，聚酰亚胺薄膜位置容易发生偏离，导致聚酰亚胺薄膜褶皱在一起。

因此，发明低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉很有必要。

实用新型内容

为此，本实用新型提供低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉，通过使辊根据聚酰亚胺薄膜的宽度改变其尺寸宽度，以及对辊进行定位，以解决聚酰亚胺薄膜容易发生偏离的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉，包括热处理炉，所述热处理炉上端固定安装支撑竖杆一，所述支撑竖杆一上端固定安装放卷辊，所述放卷辊内壁开设滑槽，所述放卷辊右端固定安装滑柱，所述滑柱插接在所述滑槽内壁，所述热处理炉上端开设滑道，所述支撑竖杆一安装在所述滑道内壁，所述热处理炉上端固定安装支撑竖杆二，所述支撑竖杆一右端固定安装把手，所述把手穿过所述支撑竖杆二内壁延伸至所述支撑竖杆二右端，所述支撑竖杆一右端固定安装定位杆，所述定位杆右端固定安装支撑竖杆三，所述定位杆内壁固定安装定位辊，所述热处理炉上端开设放卷入口，所述热处理炉下端开设放卷出口，所述放卷辊和定位辊内壁放置聚酰亚胺薄膜。

优选的，所述热处理炉下端固定安装支撑腿一，所述热处理炉下端固定安装立板，所述立板内侧固定安装支撑横杆，所述支撑横杆内侧固定安装收卷辊二，所述支撑腿一内侧固定安装收卷辊一。

优选的，所述把手设置为“Z”形。

优选的，所述热处理炉内壁固定安装加热管。

优选的，所述把手和支撑竖杆一连接处固定安装螺钉。

优选的，所述热处理炉下端固定安装支撑腿二。

本实用新型的有益效果是：

热处理炉上端固定安装支撑竖杆一，支撑竖杆一具有定位放卷辊的作用，支撑竖杆一上端固定安装放卷辊，放卷辊具有放置聚酰亚胺薄膜的作用，放卷辊内壁开设滑槽，放卷辊右端固定安装滑柱，滑槽和滑柱具有改变放卷辊的宽度作用，热处理炉上端开设滑道，滑道具有滑动支撑竖杆一的作用，热处理炉上端固定安装支撑竖杆二，支撑竖杆二具有支撑把手的作用，支撑竖杆一右端固定安装把手，把手具有改变支撑竖杆一位置的作用，支撑竖杆一右端固定安装定位杆，定位杆具有固定定位辊的作用，定位杆右端固定安装支撑竖杆三，支撑竖杆三具有支撑定位杆的作用，定位杆内壁固定安装定位辊，定位辊具有定位聚酰亚胺薄膜的作用，热处理炉内壁固定安装加热管，加热管具有热处理聚酰亚胺薄膜的作用。

附图说明

图1为本实用新型提供的低介电常数聚酰亚胺薄膜热处理炉的结构图一；