[实用新型]超大载片量石英舟

权利要求书

1.超大载片量石英舟，包括侧板(1)、定位块(2)、伸缩杆(3)、压挡板(4)、硅片置板(5)、弹性安装柱(6)以及底板(7)，其特征在于：所述侧板(1)设置于若干硅片置板(5)的两侧，所述定位块(2)与伸缩杆(3)活动连接，所述伸缩杆(3)的一端贯穿侧板(1)设置于定位块(2)的右端，所述伸缩杆(3)的另一端与压挡板(4)固定连接，所述压挡板(4)贴合设置于硅片置板(5)上，所述硅片置板(5)设置有若干个，所述弹性安装柱(6)固定设置于各硅片置板(5)之间，所述底板(7)设置于最底端硅片置板(5)的底部。

2.根据权利要求1所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述侧板(1)包括限位块(11)、插槽口(12)，所述限位块(11)设置的数量为二个，且所述限位块(11)分别设置于侧板(1)的上下两端，所述插槽口(12)数量与硅片置板(5)一一对应，且所述插槽口(12)依次等距设置于侧板(1)的内侧，设置距离为15-55mm。

3.根据权利要求1所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述定位块(2)、伸缩杆(3)以及压挡板(4)组成结构设置的数量为二组。

4.根据权利要求1所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述硅片置板(5)依次通过弹性安装柱(6)叠层固定，每二个所述硅片置板(5)之间设置的弹性安装柱(6)数量为七个。

5.根据权利要求1所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述硅片置板(5)包括弹性插块(51)、安装孔(52)、固定槽(53)以及缓冲层(54)，所述弹性插块(51)内部设置有弹簧，所述弹性插块(51)设置的数量为二个，所述弹性插块(51)分别设置于硅片置板(5)的两侧，所述安装孔(52)依次设置于硅片置板(5)的底部，所述固定槽(53)设置的数量为三个，且所述固定槽(53)等距设置于硅片置板(5)的表面，所述缓冲层(54)分别设置于固定槽(53)内部的上下两壁。

6.根据权利要求5所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述弹性插块(51)的直径与插槽口(12)的直径相适配。

7.根据权利要求5所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述安装孔(52)的直径与弹性安装柱(6)的直径相适配。

8.根据权利要求5所述的超大载片量石英舟，其特征在于：所述缓冲层(54)采用的发泡PVC材质制成。