[实用新型]电磁式MEMS扭转微镜有效
| 申请号： | 202021712362.0 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN213182193U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;王福杰;姚智伟;任斌;郭芳 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁式 mems 扭转 | ||
1.一种电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，包括：基板、支撑结构和线圈；
基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；
所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。
2.根据权利要求1所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述基板为正方体，以所述微镜镜面所在的平面建立笛卡尔坐标系，沿着所述扭梁的设置方向为X轴，与所述扭梁的设置方向垂直的为Y轴，所述线圈沿着所述X轴或所述Y轴对称设置在所述电路板上。
3.根据权利要求2所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述线圈的结构为矩形螺旋线圈，每个所述线圈内相邻的两圈距离为254um。
4.根据权利要求3所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述线圈设置有四个。
5.根据权利要求1所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述微镜镜面为金属板层。
6.根据权利要求5所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述金属板层的厚度为100nm。
7.根据权利要求6所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，在所述金属板层的上方还设置有固化层。
8.根据权利要求1-7任一所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述扭梁为阴性光刻胶SU-8 2100材料。
9.根据权利要求3所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述矩形螺旋线圈通过双线接入所述电路板。
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