[实用新型]一种大数值孔径激光镜头成像检验系统有效
| 申请号： | 202021713405.7 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN212254545U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 周志凯;刘良清;徐海锋 | 申请（专利权）人： | 卡门哈斯激光科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 重庆天成卓越专利代理事务所(普通合伙) 50240 | 代理人： | 谭小容 |
| 地址： | 215201 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 数值孔径 激光 镜头 成像 检验 系统 | ||
1.一种大数值孔径激光镜头成像检验系统，包括待测激光镜头(1)，其特征在于：还包括依次间隔设置的单模单色光源(2)、光纤准直镜(3)、标准物镜(4)、标准管镜(5)和面阵CCD元件(6)，所述单模单色光源(2)和光纤准直镜(3)构成平行光系统，待测激光镜头(1)沿光轴滑动安装在光纤准直镜(3)和标准物镜(4)之间，用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑(7)，且所述焦点光斑(7)的位置与标准物镜(4)的焦点重合，所述标准物镜(4)和标准管镜(5)组成共轭成像系统，用于将焦点光斑(7)放大成聚焦光束像(8)并投影到所述面阵CCD元件(6)上，所述面阵CCD元件(6)的位置与标准管镜(5)的焦点重合，所述共轭成像系统的放大倍率为10X-100X，待测激光镜头(1)的数值孔径NA小于等于标准物镜(4)的数值孔径NA。
2.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述光纤准直镜(3)与待测激光镜头(1)之间设置有光阑(9)。
3.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述单模单色光源(2)、标准物镜(4)、标准管镜(5)配备有多种规格，能进行换装。
4.根据权利要求1—3中任一项所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述单模单色光源(2)选用光纤芯径小于10um的单模光纤光源，其光束质量因子M2小于1.5。
5.根据权利要求4所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述单模单色光源(2)的波长带宽小于10nm；波长为1064nm，或为多个波长的组合，能切换输出波长。
6.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述光纤准直镜(3)的有效焦距为200mm；标准物镜(4)的有效焦距为4mm，标准管镜(5)的有效焦距为200mm，组成放大倍率为50X的共轭成像系统；面阵CCD元件(6)的单元像素尺寸为2um，聚焦光束像(8)的几何尺寸为面阵CCD元件(6)的单元像素尺寸的50倍。
7.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述待测激光镜头(1)的数值孔径NA为0.5，标准物镜(4)的数值孔径NA为0.65。
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