[实用新型]一种PBN坩埚烘干装置

权利要求书

1.一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，包括内管、中间管、外管三层结构，所述中间管设置在内管和外管之间，所述中间管与内管之间设有加热线圈，所述内管为中空的圆筒结构，所述内管的两端分别设有第一法兰和第二法兰，所述第一法兰上设有进气气动阀，所述第二法兰上设有出气气动阀。

2.根据权利要求1所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，所述烘干装置还包括第一限位连接件、第二限位连接件以及工作台，所述第一限位连接件和第二限位连接件均呈横向短、纵向长的直角形状，所述第一限位连接件和第二限位连接件的纵向一端分别与所述外管的两侧固定，所述第一限位连接件和第二限位连接件的横向一端分别与所述工作台固定。

3.根据权利要求2所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，所述工作台的底部设有支撑脚腿。

4.根据权利要求3所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，所述支撑脚腿远离工作台的一端还设有支撑脚座。

5.根据权利要求4所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，所述支撑脚腿共设置有六个，且支撑脚腿的大小和形状均相同。

6.根据权利要求5所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，所述支撑脚座对应支撑脚腿设置有六个，且支撑脚座的大小和形状均相同。

7.根据权利要求5所述的一种PBN坩埚烘干装置，其特征在于，相邻两个所述支撑脚腿之间设有固定连杆。