[实用新型]一种单向口多级分流氩气冲洗装置及集成式光谱仪

权利要求书

1.一种单向口多级分流氩气冲洗装置，其特征在于，包括：

常开气路，与火花台连接且保持常开状态，所述常开气路上安装有常流量开关阀(2)；

主气路，与火花台连接，所述主气路上安装有主气路电磁阀(3)；以及

辅气路，与光谱仪快门装置连接，所述辅气路上安装有辅气路电磁阀(5)。

2.根据权利要求1所述的一种单向口多级分流氩气冲洗装置，其特征在于，所述常开气路和主气路上均安装有流量计(1)，或所述常开气路和主气路共用流量计(1)。

3.根据权利要求1或2所述的一种单向口多级分流氩气冲洗装置，其特征在于，还包括进气阀(4)，所述进气阀(4)的进气端与单向氩气管路连接，进气阀(4)的出气端与常开气路、主气路和辅气路连接。

4.一种集成式光谱仪，包括光谱仪本体，其特征在于，所述光谱仪本体上安装有如权利要求1～3任一所述的单向口多级分流氩气冲洗装置。