[实用新型]基板湿制程的剥膜药剂过滤装置

说明书

本实用新型为一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。该剥膜机体包含药剂槽及喷洒机构。振动机体包含振动台及振动机构，振动机构包含一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，且包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂；借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。

技术领域

本实用新型是有关于基板湿制程技术领域，尤其是指一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置。

背景技术

一般电路板湿制程包含上膜、制板及洗膜等流程，其中，洗膜是利用化学药剂将成型于线路表面上的干膜以喷洗方式令干膜剥离。前述化学药剂在经过洗膜后通常包含有化学药剂以及干膜等剥离固体，因此，洗膜后的化学药剂需先进行过滤，借以将化学药剂与干膜等废料加以过滤后才得以再回收利用。

再者，目前针对洗膜后的化学药剂进行过滤的方式是在基板湿制程设备(剥膜槽)的旁侧另外连接一过滤槽，并利用过滤设备对化学药剂及干膜废料进行分离程序。待将滤除干膜废料后的化学药剂溶液加以收集后，可再利用泵浦送回剥膜槽的喷洒设备，借此达到循环使用的目的。然而，现有的基板湿制程设备再另外连接过滤槽的整体体积较为庞大，导致所占用的空间过大而不利设置，故需加以改善。

有鉴于此，本创作人遂针对上述现有技术，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本创作人改良的目标。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。

为了达成上述的目的，本实用新型提供了一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。剥膜机体包含用以装载剥膜药剂的药剂槽及设置在药剂槽上方的喷洒机构，剥膜药剂通过喷洒机构而对基板进行剥膜作业。振动机体包含振动台及设置在该振动台的振动机构，振动机构包含位于药剂槽相对侧的一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，过滤结构包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂。

作为本实用新型的另一种实施，该剥膜药剂过滤装置还包括承接该废膜药剂的一导引结构，该导引结构设置在该喷洒机构及该基板的下方。

本实用新型的一目的，在于提供一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其振动机体是于振动台的底部设置阻尼器，以吸收振动台在振动机构的运作下所产生的振动，并可借此降低噪音。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一承接盘及一回流管，该承接盘对应设置在该过滤网的下方，该回流管的一端连接该承接盘，该回流管的另一端连接至该药剂槽。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机构还包括一对皮带，该对致动器是通过该对皮带而带动该对偏心机构。

作为本实用新型的另一种实施，该对致动器分别为一电动马达。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一支撑架及至少一缓冲组件，该支撑架连接该振动台并延伸至该过滤框的下方，该至少一缓冲组件设置在该支撑架上并弹性抵接该过滤框。

作为本实用新型的另一种实施，该缓冲组件为一压缩弹簧。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一对导引轮及一对止挡板，该对导引轮设置在该过滤框相对的两外侧，该对止挡板固定在该支撑架上并相对位于该对导引轮的一侧边。

作为本实用新型的另一种实施，各该止挡板具有一凸挡部，该凸挡部的截面呈三角形。

作为本实用新型的另一种实施，该导引结构包含交错相接的两导斜片。