[实用新型]一种晶圆测试用探针台升降机构

说明书

本实用新型公开了一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架、底箱和防护槽板，支撑架的顶部与防护槽板的底部固定连接，底箱内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条，底箱内腔的另一侧固定连接有滑轨，滑轨的内部通过滑块滑动连接有电机箱，电机箱内腔的底部通过支撑板固定连接有电机，电机的输出端贯穿电机箱并延伸至电机箱的表面，本实用新型涉及晶圆探针台技术领域。该晶圆测试用探针台升降机构，能够对测试台进行很好的升降，一定程度上提高了测试台的传动精度，且在传动时通过支撑杆、U型架、固定板的分级传动，保证了测试台运动时的稳定性，整体实用性，保证了U型板运动时的稳定性，对整体具有很好的保护作用。

技术领域

本实用新型涉及晶圆探针台技术领域，具体为一种晶圆测试用探针台升降机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%，探针台是半导体前端加工工艺中对晶圆电路进行测试，标记测试结果的好坏并收集信号的半自动机械设备。旋转升降机构是探针台核心功能机构之一，现有的探针台升降机构，一般是采用丝杆进行转动，这种传动的精度比较一般，且传动时稳定性不是很好，且现有的探针台和升降结构是一体的，不便于使用者进行维修。

传统的晶圆测试用探针台升降机构，不能够对测试台进行很好的升降，一定程度上降低了测试台的传动精度，且在传动时通过支撑杆、U型架、固定板的分级传动，难以保证测试台运动时的稳定性，整体实用性不强，难以保证U型板运动时的稳定性，对整体不具有很好的保护作用，不够安全可靠。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆测试用探针台升降机构，解决了探针台升降机构升降时精度不高且稳定性不强的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架、底箱和防护槽板，所述支撑架的顶部与防护槽板的底部固定连接，所述底箱内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条，并且底箱内腔的另一侧固定连接有滑轨，所述滑轨的内部通过滑块滑动连接有电机箱，并且电机箱内腔的底部通过支撑板固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿电机箱并延伸至电机箱的表面，并且电机输出端延伸至电机箱表面的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的一侧与齿条的一侧啮合，所述电机箱的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端贯穿底箱并延伸至底箱的顶部，并且支撑杆延伸至底箱顶部的一端固定连接有U型架，所述U型架顶部的两侧均固定连接有固定板，所述固定板的顶部贯穿防护槽板并延伸至防护槽板的顶部，并且固定板延伸至防护槽板顶部的表面固定连接有测试台。

优选的，所述U型架底部的两侧均固定连接有滑轮，并且滑轮的内部与底箱的表面滑动连接。

优选的，所述电机箱的背面开设有散热网孔。

优选的，所述支撑架内壁的两侧均固定连接有限定箱，所述U型架的两侧均固定连接有支杆，所述支杆的一端贯穿限定箱并延伸至限定箱的内腔，并且支杆延伸至限定箱内腔的一端固定连接有滚轮，所述滚轮的一侧与限定箱内腔的一侧滑动连接。

优选的，所述U型架的两侧且位于支杆的顶部均固定连接有滑板，所述滑板的一侧贯穿限定箱并延伸至限定箱的内腔，并且滑板延伸至限定箱内腔的一侧与限定箱内腔的一侧滑动连接。

优选的，所述U型架的表面固定连接有控制按钮。

有益效果

本实用新型提供了一种晶圆测试用探针台升降机构。与现有技术相比具备以下有益效果：