[实用新型]一种抗氧化的石墨舟有效
申请号: | 202021723370.5 | 申请日: | 2020-08-18 |
公开(公告)号: | CN212587464U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 何军 | 申请(专利权)人: | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214116 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 石墨 | ||
1.一种抗氧化的石墨舟,包括多个舟片(2)和多个密封块(16),其特征在于,所述舟片(2)的一侧开设有多个安装孔,安装孔内活动连接有陶瓷管(1),陶瓷管(1)的两端设置有螺纹,螺纹的一侧活动连接有固定件,所述密封块(16)的一侧开设有两个螺纹孔,螺纹孔内活动连接有双向螺杆(12),且双向螺杆(12)的另一端与另一个密封块(16)固定连接,所述双向螺杆(12)的一侧活动连接有螺母(11),所述舟片(2)的一侧开设有多个安装槽(14),且密封块(16)的一侧与安装槽(14)相接触,所述舟片(2)的两端均固定连接有普通隔块(5)、缓冲隔块(8)和电极块(7),缓冲隔块(8)的一侧开设有通孔,通孔内活动连接有固定杆(13),且固定杆(13)穿过普通隔块(5)、电极块(7)和舟片(2)的一端。
2.根据权利要求1所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述舟片(2)的一侧开设有穿孔,穿孔的一侧活动连接有陶瓷柱(9),陶瓷柱(9)的一侧活动连接有多个顶块(10),顶块(10)的顶部开设有开口槽,且顶块(10)与舟片(2)交错分布。
3.根据权利要求2所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述舟片(2)的一侧固定连接有多个导向块(15),导向块(15)的顶部为斜面。
4.根据权利要求3所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述电极块(7)的一侧开设有电极孔(6),且电极孔(6)位于电极块(7)的中间。
5.根据权利要求1所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述舟片(2)的底部固定连接有外舟腿(4),且固定杆(13)穿过外舟腿(4)。
6.根据权利要求1所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述缓冲隔块(8)的一侧开有方槽,且方槽位于缓冲隔块(8)的上方。
7.根据权利要求2所述的一种抗氧化的石墨舟,其特征在于,所述舟片(2)的一侧一体成型有卡槽(3),且卡槽(3)有多个,并均匀的分布在舟片(2)的一侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造