[实用新型]一种水循环冷却系统两进两出均压分流器有效

专利信息
申请号: 202021724615.6 申请日: 2020-08-18
公开(公告)号: CN212907640U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 张永雷 申请(专利权)人: 昆山国华电子科技有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 代理人: 王丹
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 水循环 冷却系统 两进两出均压 分流器
【说明书】:

本实用新型公开了一种水循环冷却系统两进两出均压分流器,包括上下位对称布置在电极板上部和下部的分流器、进水管、出水管以及蓄能器,分流器包括进水分流器和出水分流器,进水分流器中部设有与进水管连接的进水口,对称一侧设置有若干个进水分流口,尾端与蓄能器连通,出水分流器中部设有与出水管连接的出水口,对称一侧设置有若干个出水分流口,尾端与蓄能器连通,该分流器将电极板上部水平设置的进水端均匀均压通入冷却水,并从电极板下部水平设置的出水端流出冷却水,其中分流器内管与分流口直接连通,并配合蓄能器在冷却水中存在气泡或冷却水停止流动的情况下依然能够保持不停歇流动,保证供应给电极板内的冷却水无气泡、无气隙,简单实用。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域,具体涉及一种水循环冷却系统两进两出均压分流器。

背景技术

等离子清洗设备采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵,工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,其清洗程度达到分子级。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。现有等离子清洗设备需要用到电极板,并且电极板内需要自上而下地通入循环冷却水以保证散热和各项性能指标,水循环系统的设置需要保证不间断通入电极板内,无气泡无气隙,以防对电极板造成内部损伤,影响使用寿命。因此需有特别设计一种有效的供应冷却水的水循环系统,也需要对多块电极板进行均压引流分流。

发明内容

本实用新型目的:为了解决背景技术中的问题,我们设计一种水循环冷却系统两进两出均压分流器,将整齐排列的电极板上部水平设置的进水端均匀均压通入冷却水,并从电极板下部水平设置的出水端流出冷却水,并外接循环泵与冷却水箱实现对冷却水循环流通的效果,分流器上下位对称布置也给分流器避让了进水和出水的空间,其中分流器内管与分流口直接连通,并配合蓄能器在冷却水中存在气泡或冷却水停止流动的情况下依然能够保持不停歇流动,保证供应给电极板内的冷却水无气泡、无气隙,简单实用。

为解决上述问题采取的技术方案是:

一种水循环冷却系统两进两出均压分流器,包括上下位对称布置在电极板上部和下部的分流器、进水管、出水管以及蓄能器,

所述分流器包括进水分流器和出水分流器,

所述进水分流器中部设有与进水管连接的进水口,对称一侧设置有若干个进水分流口,进水分流口与电极板上部的进水端连通,且进水分流器包含两只,并上下位对称布置,两只进水分流器尾端与蓄能器连通,在冷却水中存在气泡或冷却水停止流动的情况下,加压助力使冷却水依然能够保持不停歇流动,

所述出水分流器中部设有与出水管连接的出水口,对称一侧设置有若干个出水分流口,出水分流口与电极板上部的出水端连通,且出水分流器包含两只,并上下位对称布置,两只出水分流器尾端与蓄能器连通,用于给电极板内的冷却水加压保持内部充满。

进一步地,所述分流器包括同心布置的外管和内管,一端密闭固连,另一端的外管与蓄能器连接,而内管依旧密闭,所述外管与进水口或出水口连通,所述内管与若干个进水分流口或出水分流口间距均匀连接。

进一步地,所述内管靠近进水口或出水口一侧两侧间距均匀开设有若干个引流孔,使得流进外管的冷却水通过引流孔流入内管。

进一步地,所述电极板间距均匀横向布置,上部设有进水端,下部设有出水端。

本实用新型的有益效果是:

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