[实用新型]一种高浓度臭氧标准气体发生装置

权利要求书

1.一种高浓度臭氧标准气体发生装置，包括臭氧发生器本体，其特征在于：臭氧发生器本体包括臭氧发生装置进气口(1)、进气流量调节阀(2)、进气电子质量流量计(3)、进气压力变送器(4)、臭氧发生装置放电体(5)、循环水冷凝器(6)、循环水泵(7)、循环水罐(8)、水罐温度传感器(9)、水罐液位计(10)、水罐加水口(11)、主控制电路板(12)、触摸显示屏(13)、臭氧发生装置放电电源(14)、不锈钢三通连接器(15)、臭氧输出玻璃转子流量计(16)、臭氧输出口(17)、臭氧浓度流量调节阀(18)、臭氧浓度传感器(19)、臭氧浓度传感器尾气破坏器(20)、臭氧浓度玻璃转子流量计(21)和臭氧浓度电子质量流量计(22)，所述循环水泵(7)与循环水罐(8)通过管道连接，所述循环水泵(7)和循环水冷凝器(6)通过管道连接，所述循环水冷凝器(6)和臭氧发生装置放电体(5)连接通过管道连接，所述臭氧发生装置放电体(5)和循环水罐(8)通过管道连接，所述循环水罐(8)的左侧与水罐温度传感器(9)连接，所述循环水罐(8)的右侧与水罐液位计(10)固定连接，所述循环水罐(8)右侧的顶部与水罐加水口(11)连接。

2.根据权利要求1所述的一种高浓度臭氧标准气体发生装置，其特征在于：所述臭氧发生装置进气口(1)与进气流量调节阀(2)连接，所述进气流量调节阀(2)与进气电子质量流量计(3)连接，所述进气电子质量流量计(3)与进气压力变送器(4)连接，所述进气压力变送器(4)与臭氧发生装置放电体(5)连接，所述臭氧发生装置放电体(5)与臭氧发生装置放电电源(14)通过高压线路连接，所述臭氧发生装置放电体(5)与不锈钢三通连接器(15)连接，所述不锈钢三通连接器(15)与臭氧输出玻璃转子流量计(16)连接，所述臭氧输出玻璃转子流量计(16)与臭氧输出口(17)连接。

3.根据权利要求1所述的一种高浓度臭氧标准气体发生装置，其特征在于：所述不锈钢三通连接器(15)与臭氧浓度流量调节阀(18)连接，所述臭氧浓度流量调节阀(18)连接与臭氧浓度传感器(19)连接，所述臭氧浓度传感器(19)与臭氧浓度传感器尾气破坏器(20)连接，所述臭氧浓度传感器尾气破坏器(20)与臭氧浓度玻璃转子流量计(21)连接，所述臭氧浓度玻璃转子流量计(21)与臭氧浓度电子质量流量计(22)连接。

4.根据权利要求1所述的一种高浓度臭氧标准气体发生装置，其特征在于：所述主控制电路板(12)与触摸显示屏(13)信号连接，所述主控制电路板(12)与臭氧发生装置放电电源(14)信号连接，所述主控制电路板(12)与臭氧浓度传感器(19)信号连接，所述主控制电路板(12)与臭氧浓度电子质量流量计(22)信号连接，所述主控制电路板(12)与水罐温度传感器(9)信号连接，所述主控制电路板(12)与循环水泵(7)信号连接，所述主控制电路板(12)与循环水冷凝器(6)信号连接，所述主控制电路板(12)与进气压力传感器信号连接，所述主控制电路板(12)与进气电子质量流量计(3)信号连接。