[实用新型]底部结构及加料器

说明书

本实用新型公开了一种底部结构及加料器，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是避免金属元素掺杂至硅料中。本实用新型的主要技术方案为：底部结构，其包括：碳碳蘑菇头、石英锥和石英堵头；所述碳碳蘑菇头的上端螺纹连接于金属杆的下端；所述石英锥套接于所述碳碳蘑菇头的轴侧，所述石英锥的上端和所述碳碳蘑菇头的上端平齐，所述石英锥的下端外直径大于料筒下端的内直径；所述石英堵头顶接于所述碳碳蘑菇头的下端，所述石英堵头螺纹连接于所述石英锥的内侧面。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种底部结构及加料器。

背景技术

直拉法是生产单晶硅的主要技术，单晶炉是生产单晶硅棒的设备，其生产过程是通过将装满多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内加热融化为液体硅料，再通过籽晶拉制成单晶硅。

其中，加料器作为单晶炉的重要组成部分。在加料器运行过程中，需要避免金属元素掺杂至硅料中，避免影响单晶硅棒的少子寿命。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种底部结构及加料器，主要目的是避免金属元素掺杂至硅料中。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型提供了一种底部结构，其包括：碳碳蘑菇头、石英锥和石英堵头；

所述碳碳蘑菇头的上端螺纹连接于金属杆的下端；

所述石英锥套接于所述碳碳蘑菇头的轴侧，所述石英锥的上端和所述碳碳蘑菇头的上端平齐，所述石英锥的下端外直径大于料筒下端的内直径；

所述石英堵头顶接于所述碳碳蘑菇头的下端，所述石英堵头螺纹连接于所述石英锥的内侧面。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述碳碳蘑菇头的轴侧设有多个凸台，多个所述凸台上下排列，多个所述凸台的中轴线重合。

可选的，所述碳碳蘑菇头的上端设有螺纹盲孔，所述螺纹盲孔螺纹连接于金属杆的下端，所述螺纹盲孔的中轴线重合于所述凸台的中轴线。

另一方面，本实用新型还提供一种加料器，其包括：

金属杆、料筒和前述任一项所述的底部结构，所述料筒设置于单晶炉的副室中，所述金属杆的中轴线重合于所述料筒的中轴线。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

在组装底部结构时，先将碳碳蘑菇头的上端螺纹连接至金属杆的下端，再使金属杆穿过石英锥，以使石英锥的上端面和碳碳蘑菇头的上端面平齐，最后将石英堵头自石英锥的下端面旋进石英锥中，以稳定石英锥和碳碳蘑菇头的位置关系。本底部结构组装完毕后，石英锥和金属杆不直接接触，有效避免了金属杆和石英锥的摩擦，从而有效避免了金属碎屑掺杂至硅原料中，避免拉制的单晶棒受到金属污染。而且碳碳蘑菇头的材质的机械强度高于石英材质的机械强度，所以碳碳蘑菇头和金属杆的螺纹连接比较稳定，碳碳蘑菇头可以为石英锥提供承载力，以使石英锥稳定于金属杆的下端。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种加料器的结构示意图；

图2为图1中A部分的放大图。

说明书附图中的附图标记包括：碳碳蘑菇头1、石英锥2、石英堵头3、金属杆4、料筒5、螺纹盲孔6、石英管7。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。