[实用新型]一种用于石英坩埚生产的喷涂装置有效

专利信息
申请号: 202021735283.1 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN213349399U 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 申请(专利权)人: 无锡市尚领石英科技有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;B05B13/06;B05B12/08
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 孙燕波
地址: 214406 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 石英 坩埚 生产 喷涂 装置
【权利要求书】:

1.一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于:包括上座体(1)、下座体(2)、第一喷涂组件(3)和第二喷涂组件(4);

所述下座体(2)顶部通过行星齿轮机构转动连接有转环(201),所述下座体(2)轴心处开设有开口(202);

所述上座体(1)通过若干连接板(101)固定在下座体(2)上部,所述上座体(1)顶部固定有第二电机(102),所述第二电机(102)输出端贯穿上座体(1)且固定有转盘(103);

所述转环(201)顶面的相对侧均固定有竖板(203),所述竖板(203)内侧固定有第一电推杆(204),所述第一电推杆(204)的输出端固定有第一夹持板(205),所述第一夹持板(205)为内弧板;

所述转盘(103)底部固定有固定座(104),所述固定座(104)一相对侧均固定有第二电推杆(105),所述第二电推杆(105)的输出端固定有第二夹持板(106),所述第二夹持板(106)为外弧板;

所述第一喷涂组件(3)包括L形板(301),所述L形板(301)通过第一支杆(302)和第二支杆(303)固定在下座体(2)底部,所述L形板(301)上固定有第三电推杆(304),所述第三电推杆(304)输出端固定有倒L形板(305),所述倒L形板(305)一侧固定有第一喷涂管(306),所述第一喷涂管(306)顶端固定有横向喷涂管(307),所述第一喷涂管(306)与开口(202)边缘处位置上相对;

所述第二喷涂组件(4)包括第二喷涂管(401),所述第二喷涂管(401)固定在其中一连接板(101)内侧,所述第二喷涂管(401)和第一喷涂管(306)均为竖直管结构,所述第一喷涂管(306)一侧面、第二喷涂管(401)一侧面和横向喷涂管(307)顶部均通过连接管并排固定有若干喷涂头,所述连接管上设有流量阀。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述行星齿轮机构包括套环(206),所述套环(206)固定在转环(201)周侧面底部,所述套环(206)内侧固定有齿圈(207),所述下座体(2)底部固定有第一电机(208),所述第一电机(208)输出端贯穿下座体(2)且固定有齿轮(209),所述齿轮(209)与齿圈(207)啮合。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述转环(201)通过轴承与下座体(2)转动连接,所述转盘(103)通过轴承与上座体(1)底部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述第一支杆(302)为直杆,所述第一支杆(302)一端固定在下座体(2)内壁,所述第二支杆(303)为斜杆,所述第二支杆(303)一端固定在下座体(2)底部。

5.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述连接板(101)的数量为三个,三个所述连接板(101)呈正三角形分布,两所述连接板(101)之间形成入料口。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述第一喷涂管(306)一端和第二喷涂管(401)一端均通过管道和抽料泵连通有料桶。

7.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,其特征在于,所述下座体(2)底部固定有若干支腿(210)。

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