[实用新型]双Z轴机构及具有该结构的工艺炉桁架机械手

权利要求书

1.一种双Z轴机构，其特征在于，包括外Z轴机构和内Z轴机构；

所述外Z轴机构包括外筒体，且所述外筒体上安装有驱动所述外筒体沿Z轴方向与安装板发生相对运动的外Z轴驱动机构，所述安装板与外接结构连接；

所述内Z轴机构包括安装在所述外筒体内的内筒体，且所述内筒体上安装有驱动所述内筒体沿Z轴方向与所述外筒体发生相对运动的内Z轴驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种双Z轴机构，其特征在于，所述外Z轴驱动机构包括安装在所述外筒体的一侧外壁上的外丝杠，所述外筒体的顶部安装有驱动所述外丝杠运动的外丝杠驱动机构，所述外筒体在与所述外丝杠所在侧壁相临的一侧外壁上固定有沿Z轴方向延伸的外Z向直线导轨，所述安装板与所述外Z向直线导轨滑动连接，所述安装板与所述外丝杠的丝杠螺母固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种双Z轴机构，其特征在于，所述外丝杠驱动机构包括安装在所述外筒体内部顶端的外伺服电机和减速器组件，所述外伺服电机和减速器组件的输出端穿出所述外筒体的顶部，并连接有外主动皮带轮，所述外丝杠的顶端固定有外被动皮带轮，且所述外主动皮带轮和所述外被动皮带轮通过外皮带连接。

4.根据权利要求2所述的一种双Z轴机构，其特征在于，所述外筒体在所述外Z向直线导轨所在侧壁上安装有位于所述外Z向直线导轨顶部上方的上极限位限位组件和位于所述外Z向直线导轨底部下方的下极限位限位组件。

5.根据权利要求1所述的一种双Z轴机构，其特征在于，所述内Z轴驱动机构包括安装在所述内筒体的一侧外壁上的内丝杠，所述内筒体的底部安装有驱动所述内丝杠运动的内丝杠驱动机构，所述内丝杠的丝杠螺母通过连接座与所述外筒体固定连接，所述外筒体的内壁上固定有沿Z轴方向延伸的内Z向直线导轨，所述内筒体的外壁上固定有与所述内Z向直线导轨滑动配合的滑块。

6.根据权利要求5所述的一种双Z轴机构，其特征在于，所述内丝杠驱动机构包括安装在所述内筒体内部底端的内伺服电机和减速器组件，所述内伺服电机和减速器组件的输出端向下设置且连接有内主动皮带轮，所述内丝杠的底端固定有内被动皮带轮，且所述内主动皮带轮和所述内被动皮带轮通过内皮带连接。

7.一种具有双Z轴机构的工艺炉桁架机械手，其特征在于，所述工艺炉桁架机械手包括两个平行设置并沿X轴方向延伸的X轴横梁和至少一个沿Y轴方向延伸的Y轴横梁，所述Y轴横梁的两端分别与两个所述X轴横梁滑动连接，且所述Y轴横梁的一端上固定有驱动所述Y轴横梁沿所述X轴横梁的延伸方向运动的X轴驱动机构；

如权利要求1～6中任一权利要求所述的双Z轴机构设置在所述Y轴横梁的一侧，所述安装板与所述Y轴横梁滑动连接，且所述安装板上固定有驱动所述安装板沿所述Y轴横梁的延伸方向运动的Y轴驱动机构；

所述内筒体的底部外壁固定有机械手。

8.根据权利要求7所述的一种具有双Z轴机构的工艺炉桁架机械手，其特征在于，所述Y轴驱动机构包括固定在所述Y轴横梁侧壁上的Y向直线导轨，所述安装板上固定有与所述Y向直线导轨滑动连接的Y向滑块，所述Y轴横梁的顶部固定有Y轴方向延伸的齿条，所述安装板上固定有Y轴伺服电机和减速器组件，且所述Y轴伺服电机和减速器组件的输出端上固定有与所述齿条相啮合的齿轮。