[实用新型]一种三维动态聚焦振镜系统

说明书

一种三维动态聚焦振镜系统，包括X、Y轴电机反射镜、调焦透镜、固定透镜、聚焦场镜、Z轴调焦机构、光路底座和光路上盖，光路底座设有由所述光路上盖密封罩盖的安装腔，以及与安装腔导通的入光孔和出光孔，X轴电机反射镜接收依次经入光孔、调焦透镜和固定透镜射入的激光器光束并反射激光器光束形成第一反射光束；Y轴电机反射镜设置在X轴电机反射镜的侧面，Y轴电机反射镜用于接收第一反射光束并反射第一反射光束得到第二反射光束，第二反射光束经聚焦场镜射出；Z轴调焦机构带动调焦透镜沿入光孔的中心与固定透镜的中心所在直线移动，以调节调焦透镜与固定透镜的相对距离，以实现对激光器光束的调焦。本实用新型高度集成、易使用、性能稳定。

技术领域

本实用新型涉及激光设备领域，具体涉及一种三维动态聚焦振镜系统。

背景技术

激光加工已经成为现代加工行业的重要加工方式，市场应用上对激光加工领域的要求越来越高，传统二维激光设备已经广泛应在在产品的平面打标中。随着行业的发展，出现了较为复杂的三维曲面的加工需求，传统的二维激光设备很难满足一些三维曲面的加工需求，于是三维动态聚焦振镜系统应运而生。

正是三维动态聚焦振镜系统的出现，克服了传统激光打标对加工对象的表面形状不在局限在同一平面上，加工幅面小和光斑不均匀等缺陷。三维动态聚焦振镜系统被广泛用于精密的工业制造，3C电子，纺织品及医疗器械等行业的三维曲面打标和大幅面标刻，切割等等。

目前市场上的三维动态聚焦振镜产品存在以下缺陷：国内生产的动态聚焦系统振镜稳定性较差，精度低，速度慢等缺陷，所以不能满足在一些高端行业的应用需求；而国外激光振镜厂家所生产的三维动态调焦系统，结构上比较复杂，体积较大，价格昂贵，交付期长及售后服务跟不上，使国内的激光设备厂商望而却步。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术存在的上述问题，提供了一种高度集成、易于使用、性能稳定的三维动态聚焦振镜系统。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种三维动态聚焦振镜系统，包括X 轴电机反射镜、Y轴电机反射镜、调焦透镜、固定透镜、聚焦场镜、Z轴调焦机构、光路底座和光路上盖，其中：

所述光路底座与所述光路上盖连接，所述光路底座设有由所述光路上盖密封罩盖的安装腔，以及与所述安装腔导通的入光孔和出光孔，所述入光孔用于连接激光器，所述聚焦场镜安装在所述出光孔内；

所述调焦透镜、所述固定透镜和所述X轴电机反射镜依次间隔设置在所述安装腔中，且所述入光孔的中心、所述调焦透镜的中心、所述固定透镜的中心和所述X轴电机反射镜的中心位于同一高度的直线上，所述X轴电机反射镜用于接收依次经所述入光孔、所述调焦透镜和所述固定透镜射入的激光器光束并反射所述激光器光束形成第一反射光束；

所述Y轴电机反射镜设置在所述X轴电机反射镜的侧面，且所述Y轴电机反射镜的中心不位于所述直线上，所述Y轴电机反射镜用于接收所述第一反射光束并反射所述第一反射光束得到第二反射光束，所述第二反射光束经所述聚焦场镜射出；

所述Z轴调焦机构设置在所述安装腔中并与所述调焦透镜连接，所述Z轴调焦机构用于带动所述调焦透镜沿所述入光孔的中心与所述固定透镜的中心所在直线移动，以调节所述调焦透镜与所述固定透镜的相对距离，从而实现对所述激光器光束的调焦。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述光路底座为方形座，所述光路上盖连接所述光路底座的顶面，所述入光孔设置在所述光路底座的侧面，所述出光孔设置在所述光路底座的底面。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述出光孔套连有转接环，所述聚焦场镜通过所述转接环安装在所述出光孔上。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述安装腔内还设有X轴电机和Y 轴电机，所述X轴电机和所述Y轴电机各自与所述光路底座固定连接；