[实用新型]一种多工位单晶硅双面抛光装置

权利要求书

1.一种多工位单晶硅双面抛光装置，其特征在于：包括U型支撑架(1)、液压缸(4)和抛光机构(5)，所述U型支撑架(1)的上端固定连接有液压缸(4)，且U型支撑架(1)的架内上部设置有抛光机构(5)，所述抛光机构(5)与液压缸(4)下端伸缩杆相连接，所述U型支撑架(1)的架内中间处连接有旋转安装架(2)，且旋转安装架(2)包括安装环(201)、第一连接头(202)、第二连接头(203)、内环(204)、固定条(205)和第一定位夹具安装板(206)，所述安装环(201)的外壁设置有第一连接头(202)，且第一连接头(202)的端头连接有第二连接头(203)，所述安装环(201)的内壁设置有固定条(205)，且固定条(205)的另一端设置有内环(204)，所述安装环(201)的内壁设置有第一定位夹具安装板(206)，所述内环(204)的环内连接有连接支撑架(3)，且连接支撑架(3)包括连接架(301)、连接槽(302)、连接块(303)、电动推杆(304)、第三连接头(305)和第二定位夹具安装板(306)，所述连接架(301)环内上端开设有连接槽(302)，且连接槽(302)槽内嵌入进连接块(303)，所述连接块(303)的侧壁连接有电动推杆(304)，且电动推杆(304)贯穿连接架(301)、内环(204)连接有第三连接头(305)，所述第三连接头(305)的一端连接有第二定位夹具安装板(306)。

2.根据权利要求1所述的一种多工位单晶硅双面抛光装置，其特征在于：所述安装环(201)、第一连接头(202)、内环(204)和固定条(205)一体设置，且内环(204)的上端边缘开设有螺纹孔。

3.根据权利要求2所述的一种多工位单晶硅双面抛光装置，其特征在于：所述第二连接头(203)与U型支撑架(1)活动设置，且第一连接头(202)与第二连接头(203)适配设置，所述第一连接头(202)和第二连接头(203)通过螺栓固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种多工位单晶硅双面抛光装置，其特征在于：所述连接架(301)和内环(204)通过螺栓固定连接，且连接架(301)侧壁开设孔与内环(204)侧壁开设孔对齐。

5.根据权利要求4所述的一种多工位单晶硅双面抛光装置，其特征在于：所述连接块(303)和连接架(301)通过螺栓固定连接，且电动推杆(304)伸缩杆杆头与第三连接头(305)适配设置，所述电动推杆(304)伸缩杆杆头和第三连接头(305)通过螺栓固定连接，且第三连接头(305)与第二定位夹具安装板(306)一体设置，所述第二定位夹具安装板(306)和第一定位夹具安装板(206)端面对齐。