[实用新型]一种半导体检测用可旋转的激光测量仪

权利要求书

1.一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）的顶部螺纹连接有螺纹管（3），所述螺纹管（3）的顶部贯穿箱体（1）的内腔并延伸至箱体（1）的外部，所述螺纹管（3）的顶部固定连接有壳体（4），所述壳体（4）底部的两侧均固定连接有限位杆（5），所述限位杆（5）的底部贯穿箱体（1）的顶部并延伸至箱体（1）的内腔，所述箱体（1）内腔底部的右侧固定连接有第一电机（6），所述第一电机（6）的输出端固定连接有第一齿轮（7），所述螺纹杆（2）表面的底部固定连接有第二齿轮（8），所述第二齿轮（8）与第一齿轮（7）传动连接，所述壳体（4）内腔的底部通过轴承活动连接有转杆（9），所述转杆（9）表面的底部固定连接有从动齿轮（10），所述壳体（4）内腔底部的右侧固定连接有第二电机（11），所述第二电机（11）的输出端固定连接有主动齿轮（12），所述主动齿轮（12）与从动齿轮（10）传动连接，所述转杆（9）的顶部贯穿至壳体（4）的外部，所述壳体（4）的顶部固定连接有操作台（13），所述转杆（9）的顶部与操作台（13）的底部固定连接，所述壳体（4）顶部的左侧固定连接有测量仪本体（14）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）内腔两侧的顶部均固定连接有限位套（15），所述限位杆（5）的表面与限位套（15）活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）底部的两侧均固定连接有支撑柱（16），两个支撑柱（16）的底部固定连接有底板（17）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）表面的左侧固定连接有控制器（18），所述控制器（18）通过导线分别与第一电机（6）和第二电机（11）电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述螺纹管（3）的内壁设置有内螺纹，所述螺纹杆（2）的表面设置有与内螺纹相适配的外螺纹。