[实用新型]一种小型化腔体及蒸发台设备有效
| 申请号： | 202021766537.6 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN213652623U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张军委;王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 阴知见 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 小型化 蒸发 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种小型化腔体，其特征在于，包括：
第一腔体；
第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；
其中，所述第二腔体与所述第一腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积，所述第二腔体上的开口需避开蒸发源蒸发路径。
2.一种蒸发台设备，其特征在于，包括如权利要求1所述的小型化腔体。
3.根据权利要求2所述的蒸发台设备，其特征在于，还包括衬底载体与蒸发源；所述衬底载体设置于所述第一腔体内侧顶部，所述蒸发源设置于所述第二腔体内侧底部。
4.根据权利要求3所述的蒸发台设备，其特征在于，所述衬底载体与蒸发源位于同一中心线上。
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