[实用新型]一种EBSD测试用薄片样品夹持装置

说明书

本实用新型涉及一种EBSD测试用薄片样品夹持装置，用以解决目前薄片样品难以夹持，边缘导电性差无法进行EBSD测试的问题。该夹持装置包括：夹持面、夹持臂、回转支承螺栓、固定用螺丝、固定用螺母和底座。本实用新型的两个夹持面通过回转支承螺栓固定，两个夹持面通过夹持臂分别与两个底座连接，且两个竖直面保持平行，根据样品厚度不同，调节两个固定用螺丝螺母达到固定样品的目的。再经过磨抛制样后，直接将样品和夹持装置固定在扫描电镜专用样品台上，完成EBSD测试。本实用新型制样速度快，测试过程稳定，试验结果可靠。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜实验室样品夹持装置领域，特别涉及一种EBSD测试用薄片样品夹持装置。

背景技术

电子背散射衍射(简称EBSD)技术可以同时获得晶体材料微观形貌、结构与取向分布，被广泛应用于材料分析领域。在不同类型的样品测试中，样品的夹持装置对测试结果的准确性起着至关重要的作用。传统制备薄片截面样品的方法是利用树脂镶嵌，再磨抛。该方法中薄片样品边缘直接接触树脂，边缘导电性差，存在以下缺点：(1)全厚度分析时，EBSD边缘标定率低；(2)高倍组织EBSD测试时，图像抖动导致晶粒扭曲变形。以上存在的问题，使得所采集的实验数据可靠性低，影响材料分析过程中数据的判断。因此，有必要设计一种EBSD测试用薄片样品夹持装置，以提高实验数据的准确性。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术实验过程中薄片样品难以夹持，边缘导电性差无法进行EBSD测试的难题，提供一种EBSD测试用薄片样品的夹持装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种EBSD测试用薄片样品夹持装置，包括：夹持面、夹持臂、回转支承螺栓、固定用螺丝、固定用螺母、底座。夹持装置的两个夹持面通过回转支承螺栓固定，两个夹持面通过夹持臂分别与两个底座连接，根据样品厚度不同调节两个固定用螺丝螺母来固定样品，样品制备好后，夹持装置放置在扫描电镜专用可调宽口样品夹持台内，并用螺丝固定。

夹持装置的两个夹持面是利用回转支承螺栓固定在一起，且夹持面的两个竖直面保持平行。

进一步，夹持面与薄片样品接触的两边用铝箔纸夹层，且薄片样品的两个侧面及相对应的夹持面两侧需用1200号砂纸磨光，以保证夹持面、铝箔与薄片样品的侧面贴合紧密。

进一步，夹持面的上表面要与被测薄片样品的分析面保持齐平，以确保样品制备好后，夹持面以及铝箔能起到保护样品侧边不倒角的目的。

更进一步，夹持装置的材质需要导电性好，且硬度大于被测薄片样品的硬度，以确保在制样过程中夹持装置起到保护样品的目的，测试过程中导电性良好。

更进一步，两个底座通过两个固定用螺丝和固定用螺母连接。

同现有技术相比，本实验装置具有以下有益效果：

本实用新型的夹持装置，在夹持面与被测样品接触的两边用铝箔纸夹层，可以有效减少传统技术中因镶料与样品边缘直接接触导致导电性差、标定率低，图像抖动导致晶粒扭曲变形的问题，确保试验结果的可靠性。另外，本装置具有结构简单，操作方便，实用性强的优点。

附图说明：

图1是本实用新型样品夹持装置的示意图；

图2是本实用新型夹持装置夹持样品的示意图；

图3是本实用新型夹持装置测试薄片样品全厚度的形貌图；

图4是本实用新型夹持装置测试薄片样品全厚度的EBSD菊池带衬度图；

图5是传统制样方法测试薄片样品全厚度的形貌图；

图6是传统制样方法测试薄片样品全厚度的EBSD菊池带衬度图；