[实用新型]一种进气管及扩散炉

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产加工领域，具体地，涉及一种用于太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管及扩散炉。本实用新型要解决的技术问题是炉口进气管易导致低压扩散，分流进入硅片的上/下部，使得沉积较多、方阻较低的下部方阻更低，均匀性差。本申请通过设置在密封端的出气口，以及进气管本体上设补气孔，补气孔至少为1对，沿进气管本体径向方向设置，并在进气管本体同一径向横截面上，提高了扩散的片子的磷源均匀性，使得扩散方阻和方差得以改善，对电池片的效能也有提高，更有助于扩散的片子形成良好的PN结，以便提升太阳能电池片的电性能。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产加工领域，具体地，涉及一种用于太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管。

背景技术

太阳能电池的制造过程中，很重要的一个步骤就是制造PN结，PN结又被称为电池片的心脏。而光伏领域一般采用磷扩散来制造PN结。太阳能电池片的磷扩散主要有三氯氧磷管式扩散，喷淋磷酸溶液后链式扩散及丝网印刷浆料后链式扩散。目前单晶PERC电池行业一般采用第一种磷源扩散方式。在采用扩散炉制备PN结的过程中，需要使用一种通磷源的进气管装置。

经检索，中国实用新型公告号为CN205954154U，申请日为2016年08月25日，实用新型名称为：扩散炉用进气管组；公开了一种扩散炉用进气管组，包括第直管、第二直管、L型弯管，第一直管的一端为封闭端，另一端为开口端：第二直管设置在第直管的外管壁上，并与该第一直管相连通：L型弯管的水平管段从第一直管的封闭端穿过，并从开口端穿出。上述进气管组，第二直管设置在第直管的外壁上，供物质进入：L型弯管中水平段穿过第一直管后从该第一直管的开口端穿出，小氮和磷源丛L型弯管中竖直段流入，再从L型弯管中水平段流出，提高了扩散的片子的磷源均匀性，也使得扩散方阻和方差得以改善。但该方案依然无法改善炉口和炉尾之间片子的均匀性。

现有技术中，进气管装置一般分为炉口进气及炉尾进气两种，其中炉口进气均匀性较差。如图3所示，传统炉尾进气，炉口抽废的方式，使得炉口方阻均匀性极差，且极易导致炉门偏磷酸粉末堆积，导致炉门漏气，而炉门漏气极易导致充气出舟，硅片氧化层增厚，补扩后整体方阻均匀性变差，影响电池片生产效率及良品率。炉口进气使得原本均匀性极差的炉口得到了极大改善，但由于低压扩散，三氯氧磷由炉口进入到炉尾的过程，会分流进入硅片的上/下部，使得磷源沉积较多、方阻较低的下部方阻更低，均匀性进一步变差，同时也存在着磷源浪费等问题。

发明内容

1、要解决的问题

针对现有技术中但由于炉口进气管，低压扩散，分流进入硅片的上/下部，使得沉积较多、方阻较低的下部方阻更低，导致均匀性差的技术问题。本申请通过设置在所述密封端的出气口，以及进气管本体上设补气孔，提高扩散的片子的磷源均匀性，使得扩散方阻和方差得以改善，对电池片的效能也有提高，更有助于扩散的片子形成良好的PN结，以便提升太阳能电池片的电性能。

2、技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种进气管，包括进气管本体，所述进气管本体一端为密封端，另一端为开口端；所述密封端为端部密封的结构，且密封端的一侧部设有出气口，所述进气管本体上设有补气孔。

进一步地，所述补气孔至少为1对，沿所述进气管本体径向方向设置，并在所述进气管本体同一径向横截面上。

进一步地，所述补气孔为1～10对。

进一步地，所述补气孔之间的夹角为0～180°。

进一步地，所述补气孔为圆形或矩形。

进一步地，所述补气孔开口总面积小于或等于所述进气管本体横截面积的200％。

进一步地，所述出气口直径小于等于15mm。

进一步地，所述出气口和补气孔在所述进气管本体轴向横截面的同一边。