[实用新型]手动撕膜机

说明书

本实用新型公开了手动撕膜机，涉及半导体制造辅助设备技术领域，解决了现有的作业方法手撕膜会使铜片变形、损伤，容易折弯基板，产生芯片内部缺陷的问题。包括安装板，所述安装板上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板，活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上，安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件；活动托板与固定托板上皆连接有若干吸嘴，所述吸嘴连接于真空发生器，真空发生器供气口连接有气源、控制气源与真空发生器之间气路通断的手动开关。达到了保证基板平整度，操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝撕膜过程中造成的基板和芯片损伤，兼容不同尺寸的铜片，通用性高的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造辅助设备技术领域，特别涉及一种手动撕膜机。

背景技术

在半导体封装生产过程中，QFN(DFN)在塑封后需要剥离背面的保护膜，以便于后道分离工序的生产。IC铜片有一层保护膜，现有的作业方法是作业员一手拿膜，一手拿基板，双手剥离，但是，铜片比较薄比较软，这样的作业方法存有很大的隐患，手撕膜会使铜片变形、损伤，容易折弯基板，产生芯片内部缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供手动撕膜机，用真空吸盘吸住基板再撕膜，保证了基板的平整度，操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝了撕膜过程中造成的基板和芯片损伤，且可兼容不同尺寸的铜片，通用性高。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种手动撕膜机，包括安装板，所述安装板上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板，活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上，安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件；

活动托板与固定托板上皆连接有若干吸嘴，所述吸嘴连接于真空发生器，真空发生器供气口连接有气源、控制气源与真空发生器之间气路通断的手动开关。

更进一步地，所述固定件包括若干螺纹连接于安装板上的固定旋钮，所述固定旋钮贯通安装板侧面后抵接于活动托板侧面。

更进一步地，所述安装板上开设有供活动托板滑移的T型槽，活动托板底部设为与T型槽相适配的倒T型。

更进一步地，所述安装板安装于外壳，所述真空发生器位于外壳内部，外壳上还连接有位于安装板两侧的工作台。

更进一步地，所述两工作台分别挡设于T型槽两端。

更进一步地，所述外壳底部连接有若干弹垫。

更进一步地，所述安装板底部连接有若干支柱，支柱下部也连接有弹垫，所有弹垫底部高度一致。

更进一步地，所述真空发生器设有若干组，每组真空发生器的真空口连接同一托盘组上的吸嘴，手动开关与真空发生器之间设有用于单独控制一组真空发生器供气口气路通断的通道开关。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

通过真空吸盘吸住基板再撕膜，保证了基板的平整度，其操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝了撕膜过程中造成的基板和芯片损伤；

移动活动托板即可兼容不同尺寸的铜片，装置通用性高。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中安装板部分的结构示意图；

图3是本实用新型的剖视图。

图中，0、铜片；1、吸嘴；2、固定托板；3、活动托板；4、安装板；5、工作台；6、通道开关；7、真空表；8、真空发生器；9、外壳；10、弹垫；11、金属垫圈；12、手动开关；13、支柱；14、固定旋钮。

具体实施方式