[实用新型]一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪有效
| 申请号： | 202021775838.5 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN212843445U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 何赛灵;徐展鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏鼎云信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215558 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 投影 技术 检测 范围 形貌 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪，其特征在于，包括多路投影照明模块，3D形貌探测模块及扫描模块；所述的多路投影照明模块用于产生一系列等间隔排列的光片照亮待检测样品，所述的3D形貌探测模块用于捕获被待测样品表面调制的光，所述的扫描模块用于移动扫描或旋转扫描实现对待测样品的全表面探测。
2.根据权利要求1所述的一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪，其特征在于：所述的多路投影照明模块包括投影仪，以阵列形式排布，可调整投影像素块的分布及大小，从而控制投影光片的空间分布及分辨率。
3.根据权利要求1所述的一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪，其特征在于，所述的3D形貌探测模块包括成像透镜和CMOS相机，成像透镜和CMOS相机可以任意角度排列，成像透镜的焦距或放大倍率也决定检测的视场角及分辨率。
4.根据权利要求1所述的一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪，其特征在于，所述的扫描模块可完成沿垂直于光片的方向的平移扫描或以样品中心为圆心的旋转扫描，其移动的精度也决定还原3D形貌的精度。
5.根据权利要求1所述的一种基于多路投影技术的大检测范围3D形貌仪，其特征在于，对于部分圆柱形样品，实现360°全局扫描检测依赖于扫描模块的旋转。
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