[实用新型]换热装置

说明书

本实用新型公开了一种换热装置，涉及单晶硅加工设备技术领域，主要目的是提供一种能够适应热场的尺寸变化的换热装置。本实用新型的主要技术方案为：一种换热装置，包括：支撑部件，支撑部件包括支撑环和多个支撑架，多个支撑架均匀设置在支撑环的周围，并且固定连接于支撑环；换热部件，换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管，水冷屏设置在支撑环的上部，进水管的一端连接于水冷屏，另一端连接于连接盘管，排水管的一端连接于水冷屏，另一端连接于连接盘管,连接盘管固定连接于每个支撑架本实用新型主要用于对单晶炉进行降温。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工设备技术领域，尤其涉及一种换热装置。

背景技术

着单晶硅的生产技术、加工技术的发展，目前的单晶硅逐步向着300毫米以上大直径材料发展，且缺陷含量以及杂志含量更低，材料分布更加均匀，且生产成本不断降低、效率更高。目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法，在直拉法制造单晶硅时，由于单晶炉所使用的换热器需要随着热场的尺寸增大而增大，从而导致更换的换热器因尺寸问题无法使用。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种换热装置，主要目的是提供一种能够适应热场的尺寸变化的换热装置。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种换热装置，该装置包括：

支撑部件，所述支撑部件包括支撑环和多个支撑架，多个所述支撑架均匀设置在所述支撑环的周围，并且固定连接于所述支撑环；

换热部件，所述换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管，所述水冷屏设置在所述支撑环的上部，所述进水管的一端连接于所述水冷屏，另一端连接于所述连接盘管，所述排水管的一端连接于所述水冷屏，另一端连接于所述连接盘管,所述连接盘管固定连接于每个所述支撑架。

进一步的，每个所述支撑架包括底座、顶座和连接杆，所述底座的一端连接于所述支撑环的边缘，另一端连接于所述连接杆的一端，所述顶座连接于所述连接杆的另一端。

进一步的，每个所述支撑架还包括第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆的一端连接于所述底座，另一端连接于所述连接杆，所述第二支撑杆的一端连接于所述顶座，另一端连接于所述连接杆。

进一步的，所述底座垂直于所述连接杆，所述顶座垂直于所述连接杆。

进一步的，所述支撑部件还包括支撑管，所述支撑管的一端固定连接于所述连接盘管，另一端固定连接于所述水冷屏的边缘。

进一步的，所述连接盘管具有第一管道，所述第一管道设置在所述连接盘管的中间位置，所述第一管道的一端与所述进水管相互连通，另一端与所述排水管相互连通。

进一步的，所述支撑管包括第一支撑管和第二支撑管，所述第一支撑管和所述第二支撑管相对设置，所述进水管和所述排水管相对设置，并且，所述进水管和所述排水管位于所述第一支撑管和所述第二支撑管之间。

进一步的，所述水冷屏包括第一外壁和第一内壁，所述第一内壁设置在所述第一外壁的内侧，所述第一外壁和所述第一内壁之间具有间隔，所述间隔内设置隔板，所述隔板将所述间隔分隔为第一通道和第二通道。

进一步的，所述第一内壁的中部具有第一空腔，所述第一通道的一端连接于所述进水管，另一端与所述第一空腔连通，所述第二通道的一端连接于所述排水管，另一端与所述第一空腔相互连通。

与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：