[实用新型]抽空管道在线自清洁装置

权利要求书

1.一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述真空抽空管道靠近其入口处具有冷水夹层；

所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构；

所述搅拌清洁装置包括旋转轴，所述旋转轴在所述真空抽空管道内的一端固定有搅拌机构，且所述搅拌机构靠近所述真空抽空管道的入口处；

所述驱动机构包括密封所述穿入孔的磁流体密封装置和驱动所述旋转轴转动的减速电机，所述旋转轴在所述真空抽空管道外的一端通过所述磁流体密封装置与所述减速电机的输出端连接。

2.根据权利要求1所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述搅拌机构包括多个围绕所述旋转轴的轴线均匀分布的搅拌体。

3.根据权利要求2所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述搅拌体包括搅拌臂和连接所述搅拌臂与所述旋转轴的多根连接臂，所述搅拌臂与所述真空抽空管道内壁之间距离由所述搅拌臂靠近所述真空抽空管道的入口处的一端至所述搅拌臂远离所述真空抽空管道的入口处的一端逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述穿入孔处固定有与所述穿入孔相匹配的连接管，所述旋转轴通过所述连接管和所述穿入孔进入所述真空抽空管道内。

5.根据权利要求4所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述连接管内安装有隔离盘，且所述隔离盘与所述旋转轴固定连接，所述隔离盘与所述旋转轴同轴设置。

6.根据权利要求4所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述连接管上安装有温度传感器。

7.根据权利要求4所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述连接管远离所述穿入孔的一端通过连接法兰Ⅰ与固定在所述磁流体装置一端的连接法兰Ⅱ固定连接，且所述连接法兰Ⅱ与支架固定连接，所述连接法兰Ⅰ与所述连接法兰Ⅱ之间设有密封圈。

8.根据权利要求7所述的一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述旋转轴在所述真空抽空管道外的一端通过设置在所述连接管内的联轴器Ⅰ与所述磁流体密封装置的一端连接，所述磁流体密封装置的另一端通过设置在所述支架内的联轴器Ⅱ与所述减速电机的输出端连接，且所述减速电机与所述支架固定连接。