[实用新型]一种五轴真空位移台

权利要求书

1.一种五轴真空位移台，其特征是：X向位移板与 Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，波纹管内部设置有主轴，主轴上端X向位移板、 Y向位移板、及旋转调整装置连接，主轴下端与样品台上端连接；主轴内部为中空，内部设置有辅助轴，其上端与偏转调整装置连接，下端连接样品台内样品架。

2.根据权利要求1所述的一种五轴真空位移台，其特征是主轴与旋转调节装置、位移板的中心是一条直线。

3.根据权利要求2所述的一种五轴真空位移台，其特征是：法兰盘与压板之间装有导向杆，导向杆平行于Z向调整螺杆。

4.根据权利要求2或3所述的一种五轴真空位移台，其特征是： X向位移板、Y向位移板和压板之间带有导向滑槽滑动连接。