[实用新型]一种研磨装置有效

专利信息
申请号: 202021786296.1 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN214288583U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 陈继欣;高雨飞 申请(专利权)人: 江西西里科技有限公司
主分类号: B02C18/10 分类号: B02C18/10;B02C18/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 341000 江西省赣州市章贡区章贡*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 研磨 装置
【权利要求书】:

1.一种研磨装置(10),其特征在于,包括:研磨室(200);以及研磨杯(100),设置于所述研磨室(200)内;以及研磨刀(300);以及研磨电机(310);所述研磨电机(310)与所述研磨刀(300)传动连接,所述研磨电机(310)驱动所述研磨刀(300)在所述研磨室(200)内转动。

2.如权利要求1所述的研磨装置(10),其特征在于,所述研磨室(200)设置有研磨室气孔(210)。

3.如权利要求1所述的研磨装置(10),其特征在于,所述研磨室(200)设置有研磨室传感器安装孔(220)。

4.如权利要求3所述的研磨装置(10),其特征在于,还包括第一压力传感器(400),设置于所述研磨室传感器安装孔(220)。

5.如权利要求1所述的研磨装置(10),其特征还在于,所述研磨室(200)的开口设置有安装卡环(201),用于固定所述研磨杯(100)的开口。

6.如权利要求5所述的研磨装置(10),其特征在于,还包括研磨室密封台(320),用于压置于所述安装卡环(201),以固定所述研磨杯(100)的开口。

7.如权利要求1所述的研磨装置(10),其特征在于,还包括抽气口(110),设置于所述研磨室气孔(210)的外侧;所述抽气口(110)紧密贴合于所述研磨室(200)的侧壁且将所述研磨室气孔(210)完全遮盖。

8.如权利要求7所述的研磨装置(10),其特征在于,所述抽气口(110)设置有抽气口阀门(111)。

9.如权利要求2所述的研磨装置(10),其特征还在于,所述研磨室气孔(210)为不少于一个。

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