[实用新型]一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置

权利要求书

1.一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒(1)，其特征在于，所述固定盒(1)的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴固定连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)靠近驱动电机(2)的一端外圈转动套接有隔离板(4)，所述隔离板(4)的外壁周圈固定套接在固定盒(1)的内壁周圈里，所述螺纹杆(3)的外圈转动套接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的左侧壳体外壁焊接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的左端固定连接有连接块(8)，且固定杆(7)的外圈滑动套接在固定盒(1)的左侧壳体内圈里，所述连接块(8)的左侧焊接有第一夹板(9)，所述螺纹杆(3)的中部外圈固定套接有第一锥齿轮(12)，所述第一锥齿轮(12)的右侧设有第二锥齿轮(13)，且第一锥齿轮(12)与第二锥齿轮(13)啮合传动，所述第二锥齿轮(13)的右侧内圈固定套接有螺纹栓(14)，所述螺纹栓(14)的外圈转动贯穿固定盒(1)的右侧壳体。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，所述固定盒(1)的背面壳体和隔离板(4)的中部壳体均开设有第一通孔，所述第一通孔的内圈固定套接有第一轴承(5)，所述第一轴承(5)的内圈固定套接在螺纹杆(3)的外圈上。

3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，所述固定盒(1)的左侧壳体开设有滑道，所述固定杆(7)的外圈滑动套接在滑道的内圈里。

4.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，所述固定盒(1)的右侧壳体开设有第二通孔，所述第二通孔的内圈固定套接有第二轴承(15)，所述第二轴承(15)的外圈固定套接在螺纹栓(14)的外圈上。

5.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，两个所述第一夹板(9)相互靠近的一侧均固定连接有弹簧(10)，两个所述弹簧(10)相互靠近的一端均固定连接有第二夹板(11)。

6.根据权利要求5所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，所述第一夹板(9)和第二夹板(11)相互靠近的一侧设有三个弹簧(10)，两个所述第二夹板(11)相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫。